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Deep InP Gratings for Opto-Electronic Devices Etched by C12/CH4/Ar Inductively Coupled Plasma
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Deep InP gratings are etched by C12/CH4/Ar inductively coupled plasma (ICP) at room temperature. A comparison is made between SiNz mask patterns formed by wet and dry etching. SF6 reactive ion etching is adopted for smooth and vertical sidewall. The etching conditions of C12/CH4/Ar ICP are optimized for high anisotropy, and a 1.7-μm-deep InP grating with an aspect ratio of 10:1 is demonstrated. The technique is then used for the fabrication of 1.55-μm laterally coupled distributed feedback A1GMnAs-InP laser. 相似文献
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从古今中外的经验、数学知识的特点和人类认知的规律,说明数学学习中模仿的必要性,从思考过程、相关知识、思想方法和相关问题等方面,阐述如何进行反思。 相似文献
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用新方法合成了膦胺基苯膦酸及由膦,对,间胺基苯膦酸与β-萘酚,薛弗酸,R盐, J-酸,H-酸,及α-萘胺合成了一系列单偶氮染料。 由隣胺基苯膦酸合成的偶氮染料都能与铬,钴生成络合物。而膦酸染料上的膦酸基则能 和钼酸铵生成络合物。 膦酸染料在染色时很易被羊毛所吸收。但膦酸染料或经过铬盐或钼酸铵处理后的染料耐 洗坚牢度却非常不好。 相似文献
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本文将数学规划法与优化准则法有机地结合起来,导出了一种新的优化方法——变尺度梯度投影法。文中研制了该算法的通用计算机程序,给出了计算实例。计算表明,该算法收敛速度快,计算精度高,通用性好,有实用价值。 相似文献
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抑郁症是一种以心境低落为主要特征的综合症。文章详细介绍了抑郁症的症状表现及诊断标准、抑郁症的防治。 相似文献
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利用专利分析法对国内外玉米收获机相关专利进行了比较和分析。研究表明,国外玉米收获机专利申请速度趋缓并进入衰退期,国内申请进入高速发展期;脱粒、防堵及耐磨涂层等新材料、新技术正进入新一轮技术成长期,但中美两国技术研发各有侧重;国外收获机技术稳定性较强,而我国则刚刚起步;跨国公司专利技术垄断性很强,我国企业国际地位相对缺失;国际玉米收获机生产与研发集中在美国、德国和中国,国内集中在山东省。最后提出关于促进农业机械化创新与发展的我国玉米收获机的相关发展建议。 相似文献