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1.
极紫外多层膜残余应力初步研究
向鹏
金春水
张立超
金伟华
刘颖敏
曹健林
《强激光与粒子束》
2005,17(03):0
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因。实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0 nm处高反射率的40对Mo/Si多层膜会产生-500 MPa左右的压应力,其压应力主要是由膜层之间的贯穿扩散引起的;通过改变膜层比率可以在一定程度上补偿因贯穿扩散产生的压应力,但是以牺牲多层膜反射率为代价。
相似文献
2.
火灾报警控制系统的特点及案例分析
刘颖敏
《科技信息》
2011,(14):346-346,344
本文结合笔者负责施工管理的抚顺金融街壹号商业广场项目的火灾自动报警系统工程,介绍了火灾自动报警系统的智能特点。
相似文献
3.
极紫外多层膜残余应力初步研究
下载免费PDF全文
向鹏
金春水
张立超
金伟华
刘颖敏
曹健林
《强激光与粒子束》
2005,17(3):377-380
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因。实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0 nm处高反射率的40对Mo/Si多层膜会产生-500 MPa左右的压应力,其压应力主要是由膜层之间的贯穿扩散引起的;通过改变膜层比率可以在一定程度上补偿因贯穿扩散产生的压应力,但是以牺牲多层膜反射率为代价。
相似文献
4.
提高消防设备联动控制系统可靠性的几项措施
刘颖敏
《科技信息》
2011,(12):I0360-I0360
笔者有机会参与了数十个大中小型项目的火灾自动报警系统施工、调试、检测及管理工作,根据遇到的实际问题,提出几项提高消防设备联动控制系统可靠性的措施。
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