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目前,激光退火技术被广泛应用于半导体加工领域,但对如何选择激光条件进行相应的退火并没有系统清晰的准则可以参考,尤其是在硅的深注入杂质激活方面。本文通过对激光照射在硅晶圆上形成的温度场分布进行数值模拟研究,分析了激光波长和脉冲宽度对加热深度以及晶圆背面温度的影响。结果表明,延长激光波长或脉冲宽度,都有助于增加激光退火的加热深度。而对于特定的激活深度需求,存在着最优的激光波长和脉冲宽度组合,可以使退火所需要的激光脉冲能量最低,硅晶圆背面的温升最小。本文通过模拟仿真给出了激活深度在1~10μm范围内的最优波长和脉宽值,可为实现高效的深硅注入激光激活工艺提供重要的条件参考。 相似文献
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吸波体是一种带有损耗特性的周期结构,能够吸收电磁波,将电磁能转化为热能,降低反射的电磁波能量。随着应用场景的特殊化,吸波体朝着特殊领域、特定功能、更具针对性的方向发展。由于各类含有光学窗口的应用环境对抗电磁干扰需求的不断提高,吸波体光学透明化成为研究的重点方向。为了对透明吸波体的发展状况有系统的认识,文章以制造材料为脉络梳理了近年来可见光透明吸波体的研究现状,包括氧化铟锡(ITO)、金属网栅、石墨烯等,综述了以它们为材料制备的透明吸波体优缺点以及发展趋势,最后对透明吸波体的未来发展进行了展望。 相似文献
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由长电偶极子或大磁环组成的大尺寸电磁矢量传感器(ElectroMagnetic Vector Sensor,EMVS)比小尺寸EMVS辐射效率更高,研究其参数估计算法有助于推动EMVS的实装化应用.该文针对分离式长电偶极子稀疏阵列相干目标参数估计问题,提出高精度无模糊的多维参数闭式解算法.首先利用空域旋转不变性和单个矢量传感器内部属性得到方向余弦的高精度周期性模糊估计值,然后借助单个矢量传感器导向矢量推导出2维波达方向粗估计值,最后通过解模糊得到高精度无模糊的多维参数估计值.该方法规避了传统极化平滑算法的极化信息损失和迭代搜索过程,且能实现参数自动配对.计算机仿真结果表明了所提算法在分离式长电偶极子线阵中解相干的有效性. 相似文献
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The cutoff frequency f_(max) of radiation from earthquakes is one of the important parameters for studying the source process. By theoretical analysis and numerical experiments on acceleration Fourier spectrum it is suggested that f_(max) mainly depends on the lower values of slip rise time. This result can be used to explain the observational fact that the greater the earthquake magnitude, the smaller the value of f_(max). 相似文献
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1 INTRODUCTION Tri-butyl phosphate (TBP) has been widely used as the extraction reagent in U-Th fuel to separate uranium from thorium. But di-butyl phos- phate (DBP) and butyl phosphate (MBP), the radio- lytic products of TBP, exhibit some coordinated ability to the fission elements, such as Zr and Nb. The substitutes for TBP have being studied for several decades[1~4]. The physical and chemical properties of amides are similar to those of TBP and they selectively extract U(Ⅵ… 相似文献
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反应挤出法合成S/B多嵌段共聚物的研究 总被引:11,自引:0,他引:11
在阴离子引发体系下 ,以双螺杆挤出机为反应器 ,采用丁二烯、苯乙烯混和单体加料方式 ,本体法一步合成了S B多嵌段共聚物 .考察了螺杆转速、进料速率以及不同丁苯配比对反应挤出合成PS及S B嵌段共聚物聚合转化率的影响 .用1 H NMR、IR、DMA、TEM等方法对S B嵌段共聚物进行了表征 ,结果表明共聚物由多个微小的丁二烯嵌段和少量无规段组成 .当丁二烯含量少至 15 %左右时 ,其嵌段可回缩成球状 ,粒径大约在 30~ 5 0nm .该材料的韧性随着共聚物中丁二烯含量的增加而逐渐提高 ,特别是断裂延伸率的提高尤为显著 相似文献