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本文采用椭圆偏振光谱法研究了剂量为1×1016—3×1012cm-2的As+注入硅,及其在700℃退火后的光学性质。得出:当As+注入剂量增大到某一程度后,便呈非晶特性。低于临界剂量的样品,其n-λ,ε2-λ关系曲线随剂量的增大而往下方移动,呈有规律变化;退火后,在大于4000?波段,n-λ与ε2-λ曲线基本恢复到单晶硅状态。但在小于4000?的紫外区却未完全恢复,注入剂量越大,偏离单晶硅就越大。并指出,紫外光区是离子注入硅的信息敏感区;用有效质量模型计算出注入剂量与损伤度的关系。计算结果与实验符合得较好。
关键词: 相似文献
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混合判断矩阵排序方法研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了混合判断矩阵及完全一致性混合判断矩阵的概念,提出了混合判断矩阵排序的一种最小偏差法,并给出了其收敛性迭代算法,最后通过算例说明了方法的可行性。 相似文献
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1 INTRODUCTION Carbon nanotubes have many potential applica- tions due to their unique structures and properties[1~4]. Physicists have been studying their electrical, me- chanical and other properties since their discove- ries[5, 6]. Recently, chemists are interested in carbon nanotubes because their properties can be altered by chemical functionalization[7~14], and these functiona- lized nanotubes can undergo further chemical trea- tment. So the potential application range of such na- … 相似文献
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激光等离子体探针及应用研究 总被引:6,自引:1,他引:5
本文介绍用阴影、纹影相干涉方法确定等离子体折射系数变化的原理。分析了等离子体中的非线性效应和对光探测系统的基本要求。并简要叙述了实验上采用的后向喇曼探测束,给出了等离子体干涉、纹影和阴影的测量结果。 相似文献