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激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统 总被引:6,自引:2,他引:6
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流.再经信号放大及模/数转换后输入计算机。结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到0.2℃,测量区域的最小直径可达到18μm。同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位。 相似文献
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能量选择中子成像技术是利用特定范围波长(能量)的中子进行成像。在热/冷中子范围内(<25meV),能量选择中子成像技术主要基于布拉格边效应和衍射机制,相比常规中子成像技术不但可以显著提高图像对比度,而且能分析应变、应力、织构。在超热中子范围内(>1eV),能量选择中子成像技术主要基于中子共振吸收,中子截面随能量变化是同位素特有的,存在明显的共振吸收峰,因此可以进行同位素的“指纹”识别。能量选择中子成像技术在工程、材料、化学、物理、生物、考古等众多科研领域中有着非常广阔的应用前景。 相似文献
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Two copper(Ⅱ)coordination polymers{[Cu(bib)(nip)]·1.5H2O}n(1)and[Cu2(bib)(glu)2]n(2)(bib= 1,4-bis(2-methyl-imidazol-1-yl)butane,H2nip = 5-nitroisophthalic acid,... 相似文献
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二进制移相键控BPSK调制是载波相位按基带脉冲而键控改变的一种数字调制方式,其功率谱推导在传统上也是按照将基带脉冲的频谱左右频移进行的,因而要求频移后的谱没有混叠,即只有高载频才能忽略近似性,具有一定的局限。本文按照直接载波调制的思路,推导出BPSK已调信号功率谱的准确表达式,既消除了高载频的限制,也统一了对于BPSK功率谱的基带分析和载波分析方法。仿真结果表明了新表达式的正确性。 相似文献
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介绍了一套自行研制的室内模拟湍流系统.通过加热以及制冷手段控制水槽的顶部和底部温度,模拟暖空气均匀越过冷空气表面条件下的稳定边界层(SBL)温度场结构特征,以及平坦下垫面均匀加热条件下的对流边界层(CBL)温度场结构特征,并测量两种情况下的平均温度和热通量垂直廓线,分析对流混合层发展的演变过程.结果表明,模拟SBL和CBL的温度场结构与大气边界层的温度场结构观测结果符合较好. 相似文献
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