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991.
光刻机投影物镜的像差原位检测新技术   总被引:4,自引:3,他引:1  
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AMF技术可实现球差、彗差、像散等像差参量的精确测量。AMF技术考虑了光刻胶等工艺因素对像差引起的成像位置偏移量的影响,有效避免了目前基于硅片曝光方式的彗差原位检测技术对离焦量、像面倾斜等像质参量限制的依赖。  相似文献   
992.
为获得与GaN薄膜晶格失配小的衬底材料,报道了利用气相传输平衡技术(VTE)在(100)-βGa2O3单晶衬底上制备高度[001]取向LiGaO2薄膜的方法。经过X射线衍射分析表明得到的薄膜是由单相LiGaO2组成。利用扫描电镜(SEM)观察表面形貌,发现经气相传输平衡技术处理得到的薄膜表面形貌主要受温度的影响,表面晶粒尺寸随温度上升而增大。而X射线衍射测试表明随着温度上升,所得到的薄膜也从多晶向单晶化转变。在经过退火处理后,通过观察吸收谱发现LiGaO2薄膜中产生色心,并且色心的种类与温度有关。表明可以通过气相传输平衡技术技术,在远低于LiGaO2熔点的温度制备外延GaN用(001)LiGaO2∥(100)β-Ga2O3复合衬底。  相似文献   
993.
史宗君  杨梓强  梁正  刘盛纲 《光学学报》2006,26(10):517-1521
采用积分方法分析了线电荷串,沿周期性理想金属光栅表面平行移动时产生的史密斯帕塞尔辐射。分别对短周期光栅、低能量线电荷串与长周期光栅、高能量线电荷串的辐射情况进行了数值计算。相对单个线电荷而言,N个线电荷与反射光栅作用产生的辐射场密度,在频率是线电荷串调制频率的整数倍处出现最大,辐射谱宽变窄;随电荷能量增高,辐射能量向高频方向移动,并具有强烈的定向性;可以通过调节线电荷调制频率等参量实现辐射电磁波频率锁定。研究结果表明,对高能量与低能量的电荷参量,适当选择光栅尺寸与线电荷串间隔周期,都可使辐射波工作于太赫兹波段。  相似文献   
994.
With the widespread clinical use of drug combinations, the incidence of drug–drug interactions (DDI) has significantly increased, accompanied by a variety of adverse reactions. Drug transporters play an important role in the development of DDI by affecting the elimination process of drugs in vivo, especially in the pathological state. Tubulointerstitial fibrosis (TIF) is an inevitable pathway in the progression of chronic kidney disease (CKD) to end-stage renal disease. Here, the dynamic expression changes of eleven drug transporters in TIF kidney have been systematically investigated. Among them, the mRNA expressions of Oat1, Oat2, Oct1, Oct2, Oatp4C1 and Mate1 were down-regulated, while Oat3, Mrp2, Mrp4, Mdr1-α, Bcrp were up-regulated. Pearson correlation analysis was used to analyze the correlation between transporters and Creatinine (Cr), OCT2 and MATE1 showed a strong negative correlation with Cr. In contrast, Mdr1-α exhibited a strong positive correlation with Cr. In addition, the pharmacokinetics of cimetidine, ganciclovir, and digoxin, which were the classical substrates for OCT2, MATE1 and P-glycoprotein (P-gp), respectively, have been studied. These results reveal that changes in serum creatinine can indicate changes in drug transporters in the kidney, and thus affect the pharmacokinetics of its substrates, providing useful information for clinical use.  相似文献   
995.
以GaInP/GaAs/Ge三结太阳电池为研究对象,开展了能量为0.7, 1, 3, 5, 10 MeV的质子辐照损伤模拟研究,建立了三结太阳电池结构模型和不同能量质子辐照模型,获得了不同质子辐照条件下的I-V曲线,光谱响应曲线,结合已有实验结果验证了本文模拟结果,分析了三结太阳电池短路电流、开路电压、最大功率、光谱响应随质子能量的变化规律,利用不同辐照条件下三结太阳电池最大输出功率退化结果,拟合得到了三结太阳电池最大输出功率随位移损伤剂量的退化曲线.研究结果表明,质子辐照会在三结太阳电池中引入位移损伤缺陷,使得少数载流子扩散长度退化幅度随质子能量的减小而增大,从而导致三结太阳电池相关电学参数的退化随质子能量的减小而增大.相同辐照条件下,中电池光谱响应退化幅度远大于顶电池光谱响应退化幅度,中电池抗辐照性能较差,同时中电池长波范围内光谱响应的退化幅度比短波范围更大,表明中电池相关电学参数的退化主要来源于基区损伤.  相似文献   
996.
Zhang  Jing  Li  Shi  Ahn  Choon Ki  Xiang  Zhengrong 《Nonlinear dynamics》2020,100(2):1243-1255
Nonlinear Dynamics - This paper considers the distributed adaptive neural consensus tracking control problem for a class of uncertain nonaffine nonlinear multi-agent systems. By making use of the...  相似文献   
997.
New integrable B_2 model with off-diagonal boundary reflections is proposed. The general solutions of the reflection matrix for the B_2 model are obtained by using the fusion technique. Wefind that the reflection matrix has 7 free boundary parameters, which are used to describe the degree of freedom of boundary couplings, without breaking the integrability of the system. The new quantization conditions will induce the novel structure of the energy spectrum and the boundary states. The corresponding boundary effects can be studied based on the results in this paper. Meanwhile, the reflection matrix of high rank models associated with Bnalgebra can also be obtained by using the method suggested in this paper.  相似文献   
998.
采用密度泛函理论的B3LYP, B3P86, B1B95, P3PW91和PBE1PBE方法结合SDD, LANL2DZ和CEP-121G基组计算了d~(10)组态二聚物MN(M=Ga, Ge, In, Sn和Sb; N=M和Al)的几何结构.采用B3P86/SDD进一步研究了MN@H_2O团簇的几何结构及吸附能.结果表明,水分子结合在二聚物M_2上时,对二聚物影响较大,对水分子自身影响较小.将M_2中Ga, Ge, In, Sn或Sb替换一个原子为Al时,水分子在GeAl和SnAl上的吸附能变化较大,而在GaAl, InAl和SbAl上吸附能变化较小.另外, H_2O吸附在Ga, Ge, In, Sn和Sb上时,与吸附在Al上时,吸附能的变化不大.  相似文献   
999.
Current visualization design toolkits help users to explore data and create visualizations. However, most of these systems do not record the executed actions during the visualization construction process with semantic context. In this paper, we present VisAct, a visualization design system based on semantic actions, that helps average users to construct visualizations step by step. Our system contributes a set of action-based visualization components and a high-level grammar for semantic actions. VisAct also guides the visualization construction process and provides an action tracker for history management and data collection. We demonstrate the usability of VisAct by visualizations and a plugin application. Finally, we conduct a user study to evaluate the efficiency and effectiveness of our system.  相似文献   
1000.
Shi Shu  Lu Yang 《哲学杂志》2020,100(12):1550-1568
ABSTRACT

The iridium is an important metal which has excellent resistance to corrosion at high temperature. L12 intermetallic compounds i.e. Ir3Nb and Ir3Zr, with similar lattice parameters are ideal for working at high temperature. They are fully soluble due to their low lattice misfit. A first-principle investigation into the effect of doping Zr with different concentrations on the electronic structure, mechanical and thermodynamic properties of NbIr3 has been studied to prompt the development of novel high-temperature materials. Nine ZrxNb8?xIr24 compounds are carefully considered. The results show that adding Zr into these compounds can strengthen their structural stability and ductility. Nevertheless, it reduces the elastic modulus and elastic stiffness. Simultaneously, with the increase of Zr content, the thermodynamic properties of these compounds decrease. It is also found that the changes of elastic modulus are mainly attributed to the variations of bonds in these compounds.  相似文献   
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