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LIGA工艺的发展及应用 总被引:5,自引:1,他引:4
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。 相似文献
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1 问题的提出 解决物理问题是一种创造性的思维活动.在解决物理问题的一般思维过程中,探求解法的核心是思维策略的选择和运用.当我们面临物理问题时,通常总是通过分析理解物理问题,抓住问题的特征进行广泛的联想、检索和回忆储存的信息,凭借已有的知识和经验,做 相似文献
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94.
光子晶体的原理与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
光子晶体是一种在微米、亚微米等光波长量级上折射率呈现周期性变化的介质材料,它使某些频率范围内的光子态密度大大降低.甚至完全形成光子禁带.本文介绍了光子晶体的原理、制备及应用. 相似文献
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简要介绍《新概念物理教程:力学》的知识体系、特色及改革新意.结合南阳师院2000级、2001级两届本科班对新教材的使用情况,制定适合我院学生实际的力学教学大纲,探索一种以知识为载体、以学生为主体、以培养学生科学素质为宗旨的新型教学模式.对教学中遇到的问题提出具体的解决办法,对使用新教材的效果进行调查分析,为力学教材的使用和力学教学改革提供一些参考。 相似文献
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本在Glover—Klingman算法及最小费用支撑树对策的基础上,讨论了最小费用k度限制树对策问题.利用威胁、旁支付理论制订了两种规则,并利用优超、策略等价理论分别给出了在这两种规则下最小费用k度限制树对策核心中的解,从而证明了在这两种规则下其核心非空. 相似文献
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100.
本给出了三种提高YBCO块材在外磁场中悬浮力的方法.第一种方法是增强外磁场,对于此方法,本研究了一块直径为30mm的圆柱状YBCO块材分别在圆柱状NdFeB永磁体和NdFeB永磁导轨上的悬浮力.测量结果表明在77K温度下YBCO块在圆柱状NdFeB永磁体上的最大悬浮力为50N,在NdFeB永磁导轨上的最大悬浮力为103.ON.第二种方法是提高YBCO块材自身的性能,包括临界电流密度、俘获磁通和块材尺寸,对于此方法,本仅研究了块材尺寸对悬浮力的影响.三块直径分别为30mm、35mm、40mm的圆柱状YBC0块材在NdFeB永磁导轨上的悬浮力被测量,77K温度下5mm悬浮间距时的悬浮力分别为103.ON、134.5N、175.ON.第三方法是将YBCO块材变成准永久磁体,此种情况下,直径为40mm的圆柱状YBCO块材在77K温度下5mm悬浮间距时的悬浮力高达218.3N. 相似文献