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Ashraf Bastawros Abhijit Chandra Yongjin Guo Bo Yan 《Journal of Electronic Materials》2002,31(10):1022-1031
The role of a porous pad in controlling material-removal rate (MRR) during the chemical-mechanical planarization (CMP) process
has been studied numerically. The numerical results are used to develop a phenomenological model that correlates the forces
on each individual abrasive particle to the applied nominal pressure. The model provides a physical explanation for the experimentally
observed domains of pressure-dependent MRR, where the pad deformation controls the load sharing between active-abrasive particles
and direct pad-wafer contact. The predicted correlations between MRR and slurry characteristics, i.e., particle size and concentration,
are in agreement with experimentally measured trends reported by Ouma1 and Izumitani.2 相似文献
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台湾电信市场的开放大致分四个阶段,从1995年起,陆续开放了移动通信、卫星通信及固定通信等多种业务。固网市场,2001年新世纪资通、台湾固网和力霸宽频电信的加入打破了中华电信的独家垄断,开始形成四强竞争的新局面。移动领域,1997年底6家运营商8张民营执照的发放开始了该领域史无前例的竞争。在2001年1月,台湾大哥大、远致电信、亚太行动宽频、联邦电信和中华电信获得了3G执照,累计竞标金额达488.99亿元(新台币)。 相似文献
136.
Nd:YAG激光器中的自锁模 总被引:5,自引:2,他引:3
本文报道在Nd:YAG激光器中首次获得的自锁模脉冲序列.自锁模是由于Nd:YAG棒中的自相位调制引起的.在主被动对撞锁模运转情况下,自锁模对脉冲波形有较大的影响. 相似文献
137.
本文介绍了根据信号码的相互独立性,利用噪声情况下盲信号分离的原理,实现非最小相位通道特性的盲均衡。 相似文献
138.
将LambdaDNA引入活化的非洲爪蟾卵提取物中,在由磷酸肌酸与磷酸肌酸激酶构成的ATP再生系统的参与下,在这种非细胞体系中能够围绕由LambdaDNA诱导形成的染色质重建核被膜结构,同时在染色质外出现类似核被膜结构的环形片层。在这两种膜结构中核孔复合体的形成都与直径200nm左右的单层圆形小膜泡密切相关,这些小膜泡可以附着在染色质表面或独立于染色质之外相互融合成扁平囊状的双层膜片层,双层膜进一步融合形成核孔,与此同时,核孔复合体在核孔上完成装配。 相似文献
139.
基于免疫算法的组合预测方法 总被引:3,自引:0,他引:3
利用免疫算法搜索全局最优解能力,提出了一种其于免疫算法的组合预测权系数确定的新方法,并给出了具体算法.仿真实验结果表明了免疫算法在组合预测方面具有很好的可行性和有效性. 相似文献
140.
中国香港电信与盈科数码动力有限公司合并以后更名为电信盈科。它由一家以技术为主的电信公司转型为亚太地区、特别是两岸三地的商界及个人客户提供服务的综合通信服务供应商,主要提供电话服务、互联网、商企电贸服务、数据中心、客户联络中心、环球通信服务和基建业务。分析了2001-2002年上半年其电信、商企电贸、基建以及与Telstra结盟等业务市场的经营情况。 相似文献