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71.
72.
非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相,非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象 退火温度为550℃时,大部分(约80%)的非晶硅晶化为多晶硅,平均晶粒尺寸为500nm 退火温度为600℃时,几乎所有的非晶硅都转化为多晶硅,其平均晶粒尺寸约为15μm.  相似文献   
73.
本文研究了电子束光刻中电子能量(10—30keV)和电荷剂量(10~(-6)—10~(-3)C·cm~(-2))对铝栅MOS电容器的损伤和低温退火(<500℃)的影响。研究电子束光刻中高能量(30keV)和高剂量(10~(-3)C·cm~(-2))电子束引起的损伤,对电子束汽相显影光刻和电子束无显影光刻是有实际意义的。实验表明,平带电压的损伤可高达十几伏,界面态密度可高达10~(12)cm~(-2)eV~(-1)以上。在一定电荷剂量下,平带电压的损伤对电子能量的变化(在一定范围内)不敏感。在一定电子能量下,界面态密度的损伤对电荷剂量的变化(在一定范围内)不敏感。低温(<500℃)退火能完全消除平带电压的损伤,但不能完全消除界面态密度的损伤。  相似文献   
74.
α‐Cyclodextrin (α‐CD) has been complexed with various poly(ethylene glycol) (PEG) derivatives in aqueous solution. It has been found that the end groups of PEG derivatives affect the complexation kinetics greatly, but have only a little influence on the thermodynamic behavior. By increasing the hydrophobicity of end groups, the complexation speeds up rapidly. On the other hand, the bulky end groups slow down the threading of polymeric guests into the cavity of CD. By changing the hydrophobicity and the size of end groups, the complexation rate can be adjusted in the range of several orders of magnitudes, which should be quite useful in the design of new supramolecular systems. © 2006 Wiley Periodicals, Inc. J Polym Sci Part B: Polym Phys 44: 2050–2057, 2006  相似文献   
75.
梁子长  金亚秋 《物理学报》2003,52(2):247-255
将散射介质层在z轴方向划分成薄层,用薄层的一阶散射强度、Fourier变换和迭代方法求解散射介质整层的矢量辐射传输(VRT)方程的高阶散射解.该方法将一阶散射与高阶散射迭代结合起来,计算公式简明,可计算高阶迭代解,计算时间少.计算结果与一层均匀散射介质的VRT方程一阶Mueller矩阵解、半空间均匀散射介质二阶Mueller矩阵解、以及离散坐标-特征值特征矢量法的VRT热辐射的数值解作了全面的比较.提出并讨论了非均匀散射层主动与被动VRT方程的高阶解.本计算程序可以通用于非球形粒子多层结构及非均匀介质的散射和热辐射计算. 关键词: VRT方程 分层 迭代解  相似文献   
76.
In this paper, we exhibit a unified treatment of the mixed initial boundary value problem for second order (in time) parabolic linear differential equations in Banach spaces, whose boundary conditions are of a dynamical nature. Results regarding existence, uniqueness, continuous dependence (on initial data) and regularity of classical and strict solutions are established. Moreover, several examples are given as samples for possible applications.

  相似文献   

77.
蔡炜颖  李志锋  陆卫  李守荣  梁平治 《物理学报》2003,52(11):2923-2928
采用显微Raman光谱方法对红外目标模拟器中重掺杂Si微电阻桥单元的热传导特性进行研究,根据Si桥的实际特性建立相应的Raman散射模型,通过测量Raman峰位的移动得到高功率激光辐照下测量点的温度.对Si桥桥面分别进行了沿某些特殊线段的逐点线扫描和覆盖全部桥面的面扫描,得到各点的温升及其分布.用基于有限元分析的软件结合Si桥结构参数对各测量点的温升进行了模拟计算,其结果在热导分布的基本趋势上与实验相一致.实验细致地揭示了热导分布的局域起伏,反映出实际器件的不均匀性,为改进器件设计、优化器件性能提供了实验依据. 关键词: Raman光谱 Si桥 温度分布 热导  相似文献   
78.
Many recent studies have convincingly demonstrated that network traffic exhibits a noticeable self-similar nature, which has a considerable impact on network performance, and most studies of optical burst switching (OBS) networks are under a fundamental assumption that full wavelength conversion is available throughout the network. In practice, however, economic and technical considerations are likely to dictate a more limited and sparse deployment of wavelength converters in the optical network. Therefore, we present a novel scheme for OBS networks, called logical cascaded private subnet (LCPN) with start wavelength assignment policy. We define the concept of canoe relative to cluster in self-similar traffic, and introduce a new device named payload segregator at the edge node as a gateway to the core node in OBS Networks. According to the changes in the edge node framework, we put forward the concept of cluster private subnet and canoe private subnet in the core node correspondingly. A new start wavelength assignment policy is proposed for the absence of (full) wavelength conversion capabilities in the core node of OBS Networks. The performance study indicates that, our new scheme is robust under self-similar traffic and wavelength continuity constraint.  相似文献   
79.
In this paper, the response to the first harmonic component (2f) of the electrostatic force in single terminal driven electrostatic comb-drive and parallel-plate drive was used as a signal to extract device parameters, namely, the Q-factor and resonant frequency instead of the fundamental (1f) resonance response. It is shown that the difficulty in motional measurement due to electrical cross-talk (parasitics) using 1f measurement can be overcome with a higher signal-to-noise ratio of the 2f signal. Both atmospheric (low-Q) and reduced pressure environment were investigated using off-chip electronics and lock-in amplifier. The measurements were done on the electrostatic comb-drive and capacitive parallel plate sensing plates that form the two core modules of a yaw rate sensor (dual-axis resonator). The effects of AC and DC bias voltages on the measured response have been investigated. Experimental amplitude and phase response data have been analysed using the Lorentzian curve-fit, Resonance Curve Area (RCA) method, the half-power bandwidth method (3 dB) and the Nyquist plot for data fitting and determination of the Q-factor and resonance frequency.  相似文献   
80.
目前,分布式电源架构被广泛用于通信和计算设备中,该电源架构经常采用板载电源(BMP)模块,在尽可能靠近负载点的地方进行电源变换.  相似文献   
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