193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

Simulation of Phase-Change Random Access Memory with Ring-Type Contactor for Low Reset Current by Finite Element Modelling

A three-dimensional finite element models for phase change random access memory （PCRAM） is established to simulate thermal and electrical behaviours during RESET operation. The RESET behaviours of the conventional structure （CS） and the ring-type contact in bottom electrode （RIB） are compared with each other. The simulation results indicate that the RIB cell has advantages of high heat efficiency for melting phase change material in cell, reduction of contact area and lower RESET current with maintaining good resistance contrast. The RESET current decreases from 1.26mA to 1.2mA and the heat consumption in CST material during programming increases from 12% to 37% in RIB structure. Thus the RIB structure PCRAM cell is suitable for future device with high heat efficiency and smaller RESET current.     

不可溶混合液体的非线性声参量

本文设不可溶流体的混合液的总体积为各组份体积之和,直接求导并计及各组份体积比随压力的变化,得到混合液等效非线性声参量(B/A)_ef与各组份体积比x_i,它们的(B/A)_i及绝热压缩系数β_i的关系,并作了实验验证,实验与理论符合较好。     

利用CARS方法研究超短脉冲激光的脉冲宽度

在理论上提出了利用两光束CARS/CSRS方法测量超短脉冲激光的三阶相关函数。实验上在几种样品中测量了CARS/CSRS的时间特性,得到了泵浦光脉冲,SCDL输出光脉冲以及受激喇曼散射光脉冲的宽度。     

超导临界温度理论(Ⅲ)

本文定出超导临界温度T_c级数公式(1)的前几项系数。对于形式为α²F(ω)=(λω)/2[a₁δ(ω-ω₁)+(1-a₁)δ(ω-ω₂)]的双δ型有效声子谱及若干具体材料的谱,将级数公式计算的T_c与Allen-Dynes公式(以下简称A-D公式)及Eliashberg方程的数值解作了比较。计算表明,当级数(1)收敛时,级数公式计算的结果较A-D公式更接近于数值解。此外,本文还给出了一个近似的T_c级数公式,得到了估计该T_c级数收敛半径的方法,并计算了若干材料的收敛半径值。因此,可估计级数公式(1)的适用范围。 关键词：     

基金存储的一个优化模型

研究各期存款(包括购国库券)利率及银行取款政策后发现:每年奖金额均来自于存款的利息;若每笔本金到取款时能获得最大综合本利率,则奖金额就可获得最大值.据此,建立了基金使用模型,设计了一个有效的算法,并通过编程在计算机上实现了这个算法,成功地解决了三种情况下(①只存款不购国库券;②可存款也可购国库券;③第3年的奖金比其他年度多20%)最佳基金存储设计问题,并对每年奖金额不等、年数n任意等都有效.     

燃煤锅炉粉煤灰中痕量元素赋存形态研究

本文运用改进的Tessier法对某燃煤电厂静电除尘器收集的三个电场的粉煤灰进行分级提取(SEE)实验研究.SEE实验将粉煤灰中的重金属分为五个存在形态进行分级提取:水溶态(pH=7),酸溶态(pH=5),氧化物结合态,难还原态及残渣态.试验结果表明,残渣态在ESP除尘器所收集的飞灰中含量占据绝大部分;在容易迁移的离子可交换态和酸溶态中,所研究的痕量重金属元素均呈现出FA1相似文献   

利用近红外光谱检测多层组织血氧饱和度的研究

利用近红外光谱无创检测生物组织血氧饱和状态,是一种极富研究和应用前景的检测技术,在临床检测中被广泛应用.但常规临床检测应用于指端仅反映局部血氧饱和度信息,在使用中具有局限性,信号的可信度也存在质疑.该文提出了一种采用反射式脉搏血氧饱和度检测技术检测生物多层组织氧合状况的新方法,该方法通过调节入射光强以适应解剖学中生物组织多层结构的检测.应用该方法针对手指结构的实验结果表明,随着入射光强的改变,反映血氧饱和状态的光电脉搏波信号有显著变化.结合手指解剖学分析表明,光电脉搏波信号的变化与手指的多层面组织结构相对应,反映不同层面血氧饱和状态.这一特点表明,通过此法可以针对生物组织的多层结构进行测量.     

-40℃温区新型替代工质整机性能实验研究

本文开展了对一种新型近共沸混合物的整机性能实验研究,该混合物具有零ODP值和低GWP值,可作为传统工质R502甚至是R404A的长期替代物.在同一整机性能实验台上做了该工质与R502、R404A、R507A及R290的性能对比实验.实验结果表明,新工质具有低压比、低排气温度、高容积制冷量、高COP的优点,在-40℃左右的低温工况下,比现在广泛应用的R404A更具有优势.     

Immiscible multicomponent lattice Boltzmann model for fluids with high relaxation time ratio

An immiscible multicomponent lattice Boltzmann model is developed for fluids with high relaxation time ratios, which is based on the model proposed by Shan and Chen (SC). In the SC model, an interaction potential between particles is incorporated into the discrete lattice Boltzmann equation through the equilibrium velocity. Compared to the SC model, external forces in our model are discretized directly into the discrete lattice Boltzmann equation, as proposed by Guo et al. We develop it into a new multicomponent lattice Boltzmann (LB) model which has the ability to simulate immiscible multicomponent fluids with relaxation time ratio as large as 29.0 and to reduce ‘spurious velocity’. In this work, the improved model is validated and studied using the central bubble case and the rising bubble case. It finds good applications in both static and dynamic cases for multicomponent simulations with different relaxation time ratios.