Pad effects on material-removal rate in chemical-mechanical planarization

The role of a porous pad in controlling material-removal rate (MRR) during the chemical-mechanical planarization (CMP) process has been studied numerically. The numerical results are used to develop a phenomenological model that correlates the forces on each individual abrasive particle to the applied nominal pressure. The model provides a physical explanation for the experimentally observed domains of pressure-dependent MRR, where the pad deformation controls the load sharing between active-abrasive particles and direct pad-wafer contact. The predicted correlations between MRR and slurry characteristics, i.e., particle size and concentration, are in agreement with experimentally measured trends reported by Ouma¹ and Izumitani.²     

基于空间平滑的矩阵分解算法

本文研究了协方差矩阵分解算法解相关的问题,提出了一种修正的矩阵分解算法-基于空间平滑的矩阵分解（SSMD）算法。SMMD算法能在低信噪比条件下的估计相干信源,且估计精度比原修正的算法高,计算量比原修正算法小,最后通过大量的计算机仿真实验来说明矩阵修正算法的性能。     

全封离式低,中功率CO2激光器

本文回顾了过去十年来封离CO_2激光器使用射频(RF)激发技术方面的进展,并讨论了这一技术现状以及技术与市场的挑战。     

YAG激光熔覆的研究现状与发展趋势

本文介绍了YAG激光熔覆的特点，并与CO2激光进行了比较，显示了YAG激光熔覆的优势和潜力。叙述了YAG激光熔覆的研究进展及其应用前景。     

矩孔金属光栅矢量模式理论的数值计算

根据矩孔金属光栅的矢量模式理论，计算了不同入射方向，波长及偏振态情况下衍射场的分布，研究了不同光栅结构对衍射效率，偏振态变化的影响；同时，根据实际需要，加工制作了一批不同深度的矩孔光栅样品，进行了实验测量，并将计算值与实验值进行了比较，两者基本相符。     

用于频率合成器的低损耗声表面波滤波器

简述了产生声表面波滤波器插入损耗的主要机理和获得低损耗的原则；介绍了根据此原则对１００～５００ＭＨｚ５种滤波器的研制过程和结果。实验表明，采用镜像阻抗连接换能器结构可达到３～４ｄＢ的低损耗，并成功地应用于频率合成器中。     

钙矾石膨胀机理的SEM研究

本文利用扫描电镜观察了在具有不同矿物组成的系统中生成的钙矾石的形成与膨胀机理。发现能够产生膨胀的钙矾石是由局部化学反应所生成；它们在未水化的铝酸盐矿物表面原地结晶，呈放射状生长。通过溶解，沉淀生成的钙矾石不能凝结，没有膨胀性。     

一种区间数的因子分析技术及其在证券市场中的应用

传统的因子分析技术能够有效地对高维变量空间进行降维处理,但它对于样本空间却缺乏行之有效的降维效果.为了解决这一问题,一种针对大量样本数据、新的因子分析技术———区间数因子分析技术(intervaldatafactoranalysis,IFA)被提出并得到了迅速的发展。IFA方法对传统的数据概念做了本质性的扩张,运用'数据打包'的理念,对海量原始数据在不破坏其原有内在逻辑关系的前提下,可以进行变量和样本点维度的双重降维。本文详细阐述了区间数因子分析技术的原理,并以中国股票市场为案例研究背景,结果表明IFA分析技术对大规模多维数据系统做综合简化是十分有效的。     

OPNET的网络仿真机制及仿真建模方法

随着计算机技术和通信技术的迅猛发展，网络仿真已成为时下研究、规划、设计网络不可缺少的工具。本文以OPNET为例，在系统研究OPNET网络仿真机制的基础上，着重探讨了OPNET的网络仿真建模方法。     

基于移动端多天线系统的无线衰落信道模型

根据当前无线移动通信对多天线移动接收端性能仿真的要求，讨论并建立了适于空时信号处理的移动端矢量信道模型。通过分析无线移动信道特点。研究了影响接收信号幅度相位的诸多因素，建立了相应的数学模型。并对随机参数选取进行了探讨。其中考虑到移动端接收信号到达角扩散的特点，采用GBSB椭圆模型产生了适于移动端接收信号仿真的随机角度，改进了一种瑞利衰落生成算法。最后信道的数值仿真结果符合理论和经验。同时，通过TD-SCDMA系统链路级仿真，也证明了该信道模型的有效性。