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设计并用分子束外延(MBE)法制备了不同沟道结构的GaAs PHEMT材料,采用高分辨率X射线双晶衍射仪(DCXRD)、应力测试仪和霍尔测试仪对样品的结晶质量、薄层组分和厚度偏差、应力以及电子迁移率进行了分析表征。探讨了外延片应力与沟道结构的相关性,研究了沟道失配应力对电性能的影响机理。建立了GaAs PHEMT材料热应力引起电子传输特性退化的试验方法,进行了高温和低温存储后材料电性能的演化行为测试,并归纳了热应力引起材料电特性退化的实验结果。结果表明GaAs PHEMT材料经高、低温存储并恢复室温后仍能保持原有电性能,沟道应力对材料电性能的影响主要表现为失配应力。 相似文献
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化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技术是最有效的晶圆全局平坦化技术,抛光头是CMP设备中最核心的部件之一,新一代抛光头的设计主要采用区域压力控制技术。硅片抛光质量不仅取决于抛光液,还取决于对硅片抛光压力的精确控制。在CMP抛光工艺过程中各腔室的压力设定值通常并非一致,而且由于柔性弹性隔膜的存在各腔室之间相互耦合。由于耦合现象的存在使得多区腔室压力控制变得复杂化,针对这一耦合现象本文提出了一种用于多区解耦的控制方法,并基于该方法对多腔室进行了系统辨识以及控制参数整定,最后进行了多腔室同时加压实验,实验结果表明该解耦控制方法的可行性以及正确性。 相似文献
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随着超大规模集成电路特征尺寸不断缩小,多层cu互连之间的RC延迟成为一个越来越严重的问题.由于低介电常数(low-k)材料配合空气隙(air gap)结构可用于降低Cu互连导线间的耦合电容从而改善RC延迟特性,建立了单层和多层空气隙Cu互连结构的有限元分析模型,以研究空气隙结构尺寸与互连介质等效介电常数的关系.结果表明,在单层空气隙Cu互连结构中,通过增加互连导线间空气隙的结构尺寸可以减小Cu互连结构中的耦合电容,进而改善RC延迟特性;在多层空气隙Cu互连结构中,通过改变IMD和ILD中空气隙的尺寸结构可以得到RC延迟性能优化的多层空气隙Cu互连结构. 相似文献
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利用直流磁控溅射系统制备ITO薄膜,采用正交试验表格L32(48)安排试验.测试了薄膜的方阻和透过率,分析了8个工艺参数对薄膜电光特性的影响,其中沉积气压、氩氧流量比和退火温度的影响最大.分析得到优化工艺参数为:沉积气压2×133.322 4 mPa、氩氧流量比16∶0.5、退火温度427 ℃、靶基间距15、退火时间1 h、溅射功率300 W、退火氛围为真空、沉积温度227 ℃.在此工艺参数下制备的ITO薄膜方阻为17 Ω/□,电阻率为1.87×10-4Ω·cm,在可见光区域平均透过率为85.13%. 相似文献
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Reversible Formation of g‐C3N4 3D Hydrogels through Ionic Liquid Activation: Gelation Behavior and Room‐Temperature Gas‐Sensing Properties 下载免费PDF全文
Jia Yan Marco‐Tulio F. Rodrigues Zhilong Song Hongping Li Hui Xu Huan Liu Jingjie Wu Yuanguo Xu Yanhua Song Yang Liu Peng Yu Wei Yang Robert Vajtai Huaming Li Shouqi Yuan Pulickel M. Ajayan 《Advanced functional materials》2017,27(22)
Many unique properties arise when the 3D stacking of layered materials is disrupted, originating nanostructures. Stabilization, and further reorganization of these individual layers into complex 3D structures, can be essential to allow these properties to persist in macroscopic systems. It is demonstrated that a simple hydrothermal process, assisted by ionic liquids (ILs), can convert bulk g‐C3N4 into a stable hydrogel. The gelation occurs through delamination of the layered structure, driven by particular interactions between the IL and the carbon nitride sheets, forming an amphiphilic foam‐like network. This study employs spectroscopic and computational tools to unravel the gelation mechanism, and provides a rational approach toward the stabilization of 2D materials in hydrogels. The solution‐processable hydrogels can also be used as building blocks of complex devices. Chemiresistive gas sensors employing g‐C3N4 3D hydrogels exhibit superior response at room temperature, enabling effective gas sensing under low power conditions. 相似文献
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高峰值功率自准直脉冲Nd:YAG激光加工无锥度直孔研究 总被引:1,自引:1,他引:1
利用改进的脉冲Nd:YAG激光器,对激光冲击打孔加工无锥度直孔进行了实验研究。在优化激光脉冲峰值功率和脉冲能量、辅助气压参数的基础上,通过比较实验证明,能量递增组合脉冲是实现无锥度直孔加工的有效方式,增加脉冲组合中脉冲的个数可加工出负锥度的孔;激光焦点位置是影响孔锥度的重要因素,焦点位于材料表面上方1.1~1.7 mm有利于减小锥度。在厚度为1.5,3.0 mm的镍基高温合金材料上,获得孔径分别为480,510μm的直孔,重复打孔孔径误差约30μm,孔锥度<1%。给出了可实用于激光冲击打孔的直孔加工方法和脉冲激光器,并可用于其他材料的加工。 相似文献
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The existing encryption schemes were usua11y poor of index construction and maintenance,which was difficu1t to meet the retrieva1 requirements for distributed ciphertext.Aiming at the above shortage of existing schemes,a structure of separab1e ciphertext inverted index was proposed for improving the performance of para11e1 constructing cryptograph index,simp1ifying the data maintenance process,and increasing the compatibi1ity with the traditiona1 NoSQL system.The method of centra1ized inverted index was adopted to improve the retrieva1 efficiency of distributed retrieva1 system.Then,the proposed scheme was proved to meet the wide1y adopted IND-CKA security standard.Fina11y,Cassandra was combined to eva1uate the severa1 performance parameters,and the experimenta1 resu1ts show proposed architecture has good app1icabi1ity to the distributed and massive encrypted data environment. 相似文献