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71.
All-buried InP-InGaAsP ring resonators laterally coupled to bus waveguides are demonstrated. The buried configurations offer a lower built-in refractive index step along the resonator periphery, which affords enhanced optical coupling coefficients between the waveguides and reduced scattering losses caused by the resonator sidewall imperfections. Very low optical intensity attenuations of 0.4 cm/sup -1/ and coupling-limited quality factors of greater than 10/sup 5/ are observed from 200-/spl mu/m-radii ring resonators. The measured spectral linewidth is as narrow as 0.0145 nm.  相似文献   
72.
A self-assembly patterning method for generation of epitaxial CoSi2 nanostructures was used to fabricate 50 nm channel-length MOSFETs. The transistors have either a symmetric structure with Schottky source and drain or an asymmetric structure with n+-source and Schottky drain. The patterning technique is based on anisotropic diffusion of Co/Si atoms in a strain field during rapid thermal oxidation. The strain field is generated along the edges of a mask consisting of 20 nm SiO2 and 300 nm Si3N4. During rapid thermal oxinitridation (RTON) of the masked silicide structure, a well-defined separation of the silicide layer forms along the edge of the mask. These highly uniform gaps define the channel region of the fabricated device. The separated silicide layers act as metal source and drain. A poly-Si spacer was used as the gate contact. The asymmetric transistor was fabricated by ion implantation into the unprotected CoSi2 layer and a subsequent out-diffusion process to form the n+-source. I–V characteristics of both the symmetric and asymmetric transistor structures have been investigated.  相似文献   
73.
For pt.I see ibid., p.42-55 (2003). The development of a comprehensive decision support system, GMCR II, for the systematic study of real-world interactive decision problems is presented. The companion paper (Part I), discusses how GMCR II elicits, stores, and manages conflict models; here (Part II), the focus is on GMCR IIs analysis and output interpretation subsystems. Specifically, this paper describes the powerful and efficient analysis engine contained in GMCR II, its informative output presentation and interpretation facilities, and a number of follow-up analyses. Furthermore, an illustrative case study is used to demonstrate how GMCR II can be conveniently applied in practice.  相似文献   
74.
A cost-effective technique was introduced to prepare ultrathin aluminum oxide (Al/sub 2/O/sub 3/) gate dielectrics with equivalent oxide thickness (EOT) down to 14 /spl Aring/. Al/sub 2/O/sub 3/ was fabricated by anodic oxidation (anodization) of ultrathin Al films at room temperature in deionized water and then furnace annealed at 650/spl deg/C in N/sub 2/ ambient. Both dc and dac (dc superimposed with ac) anodization techniques were investigated. Effective dielectric constant of k/spl sim/7.5 and leakage current of 2-3 orders of magnitude lower than SiO/sub 2/ are observed. The conduction mechanism in Al/sub 2/O/sub 3/ gate stack is shown to be Fowler-Nordheim (F-N) tunneling. Saturated current behavior in the inversion region of MOS capacitor is observed. It is found that the saturation current is sensitive to interface state capacitance and can be used as an efficient way to evaluate the Al/sub 2/O/sub 3/ gate stack/Si-substrate interfacial property. An optimal process control for preparing Al/sub 2/O/sub 3/ gate dielectrics with minimized interface state capacitance via monitoring the inversion saturation current is demonstrated.  相似文献   
75.
分析了设备对PCB电镀过程中孔中镀液更新之影响,为有效地利用设备条件改善孔中镀液的更新提供了一些方法及理论数据。  相似文献   
76.
In this letter, a novel compact ring dual-mode with adjustable second-passband for dual-band applications are presented. A ring resonator with two different geometric dimensions are derived and designed to have identical fundamental and the first higher-order resonant frequencies, and to establish appropriate couplings in the structure. Moreover, the proposed filter has smaller size as compared with the basic topology of stopband filters and stepped-impedance-resonator (SIR) filters. The measured filter performance is in good agreement with the simulated response.  相似文献   
77.
在陷阱电荷限制电流传导理论的基础上,提出了双层有机电致发光器件的数值模型,研究了结构为"阳极/空穴输运层(HTL)/发光层(EML)/阴极"的器件中电流密度和量子效率随有机层的特征陷阱能量、陷阱密度和载流子迁移率的依赖关系. 研究发现,对于给定的HTL和EML的特征陷阱能量、陷阱密度和载流子迁移率,存在一个最优的HTL和EML之间的厚度比率,在此最优厚度比下,器件的电流密度和量子效率达到最大.通过有机层厚度的优化,器件的电流密度和量子效率可提高多达两个数量级.另外,还研究了最优厚度比随有机层特征陷阱能量、总陷阱密度和载流子迁移率之间的定量关系.  相似文献   
78.
农村通信如何"突围"   总被引:2,自引:0,他引:2  
宋军  刘云 《世界电信》2003,16(10):3-5
农村通信作为农村地区信息化的基础,对于全面建设小康具有特殊的重要地位。介绍了我国农村通信的发展现状,分析了农村通信发展的困难压其原因,最后对农村压边远、欠发达地区通信的均衡震展提出了一些建议。  相似文献   
79.
欧文  李明  钱鹤 《半导体学报》2003,24(5):516-519
对普遍采用的氧化硅/氮化硅/氧化硅( ONO)三层复合结构介质层的制备工艺及特性进行了研究分析,研究了ONO的漏电特性以及顶氧( top oxide)和底氧( bottom oxide)的厚度对ONO层漏电的影响.结果表明,采用较薄的底氧和较厚的顶氧,既能保证较高的临界电场强度,又能获得较薄的等效氧化层厚度,提高耦合率,降低编程电压.  相似文献   
80.
GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真   总被引:11,自引:2,他引:9  
刘奕  陈海昕  符松 《半导体学报》2004,25(12):1639-1646
采用计算流体力学方法对生长半导体材料GaN的重要设备MOCVD(金属有机物化学气相沉积)反应室中的流场结构进行了三维数值仿真.数值模拟采用基于非交错网格系统的SIMPLE算法,用有限体积方法对控制方程进行离散,并采用改进的压力-速度耦合方法进行求解.数值仿真给出了具有复杂几何结构和运动方式的GaN-MOCVD反应室中的流场结构,研究了改变几何尺寸和运行参数对MOCVD反应室流场结构的影响,对正在试制开发中的MOCVD设备的几何结构的改进和运行参数的优化提出了指导性建议.  相似文献   
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