Pad effects on material-removal rate in chemical-mechanical planarization

The role of a porous pad in controlling material-removal rate (MRR) during the chemical-mechanical planarization (CMP) process has been studied numerically. The numerical results are used to develop a phenomenological model that correlates the forces on each individual abrasive particle to the applied nominal pressure. The model provides a physical explanation for the experimentally observed domains of pressure-dependent MRR, where the pad deformation controls the load sharing between active-abrasive particles and direct pad-wafer contact. The predicted correlations between MRR and slurry characteristics, i.e., particle size and concentration, are in agreement with experimentally measured trends reported by Ouma¹ and Izumitani.²     

求幂级数收敛半径的方法

指出了文 [1 ]中一个考研题的错误解法 ,并给出求幂级数收敛半径的几种方法     

带有无限到达源的Re-entrant Line的稳定性

用Foster判别准则,Weiss[13]给出了带有无限到达源的两站三步re-entrant line的稳定性的充分条件．本文用两种不同的方法得到了其稳定性的充分必要条件,即: 二维随机游动方法和Foster判别准则．同时,我们又用流体模型方法得到了系统稳定的充分条件,大大地简化了Weiss[13]的证明．     

微型热驱动热声热机热端换热器的优化设计

该文基于热声环境,采用厘米级扁管和deltaE数值计算对微型热声换热器进行了优化设计。     

准八木型宽带微带天线单元的设计

利用三维电磁场仿真软件(Ansoft HFSS)对准八木型微带天线单元进行了仿真计算.研究了天线结构参数对天线性能的影响.最后得到一个良好的设计。实验结果与计算值相吻合。     

建立军用Foundry的探索

本文从ASIC的基本特点出发,阐述了建立ASIC标准加工线(Foundry)的重要性;国内集成电路产业已经具备建立Foundry的基础,建立有中国特色的Foundry是可以有所作为的。文章介绍了作者在建立军用Foundry方面的探索和初步成果。     

脑细胞激活素药物的化学成分分析

采用日本岛津LC-60A型高压液相色谱仪和美国P-E3030型原子吸收分光光度计，对该药进行了氨基酸、维生素和化学元素的含量测定。结果表明，该药含有18种氨基酸，不少于3种维生素和20几种化学元素，为进一步改进该药物的合理配制方法和临床应用提供了参考数据。     

基于CMDCT的AAC编码器心理声学模型的改进

本文提出一种改进的MPEG4-2／4AAC编码结构。与ISO标准参考结构中平行进行DFT和DMDCT不同，改进结构里感知模型和编码器中的时域到频域变换的计算都基于CMDCT进行，将两次变换合并为一次。在保持编码质量的同时，降低了变换部分的计算复杂度。新结构中变换的计算形式得到统一，更加适合编码器的VLSI实现。     

X射线聚束透镜原理及其应用

本文阐述了一种新型的Ｘ射线聚束装置─—Ｘ射线透镜的聚束原理。给出了透镜的基本设计方法，并对它应用于Ｘ射线光刻研究领域的前景作了展望。     

2～12GHz GaAs单片行波放大器

报道了一个全平面超宽带ＧａＡｓ单片行波放大器的研究结果。该单片电路的核心部件是四个３００μｍ栅宽的ＭＥＳＦＥＴ，整个电路拓扑结构简单，芯片面积为３．０ｍｍ×１．８ｍｍ。电路经优化设计后在２～１２ＧＨｚ范围内，小信号增益为５±１ｄＢ，输入输出电压驻波比≤１．７５。上述频率范围内输出功率≥１６ｄＢｍ，噪声系数≤８ｄＢ。采用全离子注入、全平面工艺，均匀性、一致性良好。实验结果与设计预计值十分一致。