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利用室温下反应磁控溅射结合炉退火的方法在P-Si(100)衬底上制备了Al2O3栅介质层,研究了不同的溅射气氛和退火条件对Al2O3栅介质层物理特性的影响.结果表明:在较高温度下N2气氛中退火有助于减小泄漏电流;在O2气氛中退火有助于减少Al2O3栅介质中的氧空位缺陷.对Al2O3栅介质泄漏电流输运机制的分析表明,在电子由衬底注入的情况下,泄漏电流主要由Schottky发射机制引起,而在电子由栅注入的情况下,泄漏电流可能由Schottky发射和Frenkel-Poole发射两种机制共同引起. 相似文献
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Al_2O_3栅介质的制备工艺及其泄漏电流输运机制 总被引:4,自引:0,他引:4
利用室温下反应磁控溅射结合炉退火的方法在P Si(10 0 )衬底上制备了Al2 O3 栅介质层,研究了不同的溅射气氛和退火条件对Al2 O3 栅介质层物理特性的影响.结果表明:在较高温度下N2 气氛中退火有助于减小泄漏电流;在O2 气氛中退火有助于减少Al2 O3 栅介质中的氧空位缺陷.对Al2 O3 栅介质泄漏电流输运机制的分析表明,在电子由衬底注入的情况下,泄漏电流主要由Schottky发射机制引起,而在电子由栅注入的情况下,泄漏电流可能由Schot tky发射和Frenkel Poole发射两种机制共同引起. 相似文献
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三算结合教学是以脑算为基础.笔算为重点,珠算为工具,把三者有机地结合起来,交替运用、互相促进,使之达到一学三会、一练三熟的目的。小学的重要任务是培养计算能力应达到算的正确、迅速。我们通过搞三算实验教学以及参加省、地、县各级珠算技术比赛和校内口算比赛所取得的成绩足以说明三算结合教学对开发学生智力,增强记忆力, 相似文献
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三算结合教学是以脑算为基础,笔算为重点,珠算为工具,把三者有机地结合起来,交替运用、互相促进,使之达到一学三会、一练三熟的目的。小学的重要任务是培养计算能力应达到算的正确、迅速。我们通过搞三算实验教学以及参加省、地、县各级珠算技术比赛和校内口算比赛所取得的成绩足以说明三算结合教学对开发学生智力,增强记忆力,特别是对提高学生计算速度和准确率起到了巨 相似文献
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