一般通风用空气过滤器性能自动检测系统的研制

基于欧洲标准EN779:2002,研制了一套一般通风用空气过滤器性能自动检测系统,包括检测台和相应的软件。首先,简单介绍了检测台的总体布局,详述了该检测台中传感器和控制部件的选型与部署;然后,从开发语言选择、设备管理、检测过程、数据组织及报表输出等各方面说明了软件开发的思想和过程。系统经性能考核,运行稳定,能够输出符合欧洲标准EN779:2002的全套测试数据报表。     

反应堆抽运Xe激光多折腔研究

针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔。在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据。     

照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响

研究了照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响。通过PROLITH软件计算了环形与四极照明条件下,光瞳非对称性对图形位置偏移量、曝光图形内水平线条与垂直线条的宽度差、曝光图形上密集线条与孤立线条之间线宽偏差的影响。研究结果表明,光瞳非对称性主要影响曝光图形的位置偏移量,光瞳非对称性引起的图形位置偏移量与光瞳非对称性的大小成线性关系。根据套刻精度的误差分配原则,计算得到光瞳非对称性的容限为5%。     

高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。     

无规位相板靶面均匀辐照光学系统研究

为了探讨用无规位相板实现靶面均匀辐照光学系统的特点,首次进行了靶面在离焦情况下辐照均匀性的实验研究。实验结果表明:靶面在聚焦透镜焦面前后较大范围内均可得到均匀辐照,靶面上光强起伏的平均峰间距小于8μm。     

Study on eight-pass dual-frequency laser interferometer with nanometer precision

Dual-frequency laser interferometer has the advantagesof wide measuring scope, high speed, and high preci-sion. It is widely applied to the precision and super-precision length measuring, especially used in locatingof wafer stage in high precision step and scan lithog-raphy, which is un-substitutable. Though the technol-ogy of dual-frequency laser interferometer was developedand achieved to a relatively mature level, it is still fo-cused because of the exigent requirements in the ad-vanced man…     

Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction

A real-time measurement method for the retardation of an eighth-wave plate is proposed. The collimated laser beam is split using a Glan Taylor polarizer with two side escape windows. The reflected sub-beam is detected using a detector, whereas the transmitted sub-beam passes through the quarter-wave plate and the eighth-wave plate of interest. Then, it is reflected by the mirror and passes reversely through the eighth-and quarter-wave plates. Finally, it is analyzed using the Glan Taylor polarizer and detected using another detector. With two detection signals, the retardation is resolved and found to be independent of the fast-axis direction, initial intensity, and circuit parameters. In the experiment, a crystal quartz sample is measured at different fast-axis angles. The standard deviation of the retardation is 0.9 o . The usefulness of the method is verified.     

基于色氨酸本征荧光测量的生物气溶胶检测技术研究

生物气溶胶与环境质量和人类健康密切相关。基于光学测量的气溶胶检测技术具有快速、无损和灵敏的优点,是目前的研究主流。而对检测系统的标定技术及其评价方法尚无国家标准可依。基于本征荧光测量技术,研制完成了一套针对包括病毒气溶胶在内的生物气溶胶检测装置。并在此基础上,以色氨酸气溶胶作为被检物,提出了一种生物气溶胶检测与标定方法。实验结果表明,研制的检测装置对色氨酸气溶胶具良好的线性响应特性,线性相关系数R2≥0.99,灵敏度达到4000L-1。证明了通过测量气溶胶中色氨酸含量检测生物气溶胶技术的可行性与可靠性。还探讨了利用多通道本征荧光检测技术实现对生物粒子种类进行预判别的可行性。     

微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法

针对微反射镜阵列（MMA）微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。