Cu CMP工艺中新型低pH碱性抛光液稳定性的研究

Abstract： The stability of a novel low-pH alkaline slurry （marked as slurry A, pH = 8.5） for copper chemical mechanical planarization was investigated in this paper. First of all, the stability mechanism of the alkaline slurry was studied. Then many parameters have been tested for researching the stability of the slurry through comparing with a traditional alkaline slurry （marked as slurry B, pH = 9.5）, such as the pH value, particle size and zeta potential. Apart from this, the stability of the copper removal rate, dishing, erosion and surface roughness were also studied. All the results show that the stability of the novel low-pH alkaline slurry is better than the traditional alkaline slurry. The working-life of the novel low-pH alkaline slurry reaches 48 h.     

基于外差检测和前向拉曼放大的新型长距离相敏光时域反射仪

基于外差检测与前向拉曼放大相结合的思路,提出了一种能实现长距离传感并同时具备高空间分辨率和高信噪比(SNR)的新型相位敏感光时域反射仪(Φ-OTDR)。讨论了如何优化入纤脉冲光和拉曼泵浦光功率,尽可能降低非线性效应对系统的不良影响,并在此基础上讨论了外差检测相比直接检测对系统性能的改善。实验证明,本文提出的Φ-OTDR传感距离可达到103km,为迄今报道的最长距离,空间分辨率为15.7m,SNR为7.89dB,其应用在管道防开挖现场试验中得到较好的验证。     

用于1064nm波段的45°倾斜光纤光栅的研制及其偏振特性研究

研究分析了45°倾斜光纤光栅的工作机理。利用紫外曝光法,将周期为1070 nm的相位模板旋转一定角度后,在光敏光纤上成功写制了45°倾斜光纤光栅,通过拼接写制技术,写制的光栅栅区长度为24 mm。对写制的45°倾斜光纤光栅的偏振依赖损耗特性进行了研究,在1064 nm处偏振依赖损耗值为11.8 dB,在1050~1100 nm范围内的偏振依赖损耗值保持在9 dB以上。导致其偏振依赖损耗值偏低的主要原因为相位模板的周期不匹配以及光栅栅区长度不够。经过优化后该器件可作为光纤起偏器件使用。     

表面等离子阵列结构中的耦合增强反射效应其红外光谱增强特性研究

使用聚焦离子束刻蚀的方法制备了不同间距的表面等离子结构阵列,研究了由方形和圆形所构成的阵列在不同间距下的光学反应.实验表明,粒子之间耦合效应随着间距的显著减小而逐渐变强,从弱耦合变化为强耦合状态.当间距小于30 nm时,发现耦合增强的反射效应,共振波长也会随着间距的减小而发生红移.将制备的超小间距纳米阵列和傅里叶变换光谱仪的ATR附件相耦合,实验验证了相关阵列结构在红外光谱增强方面的显著效果.相关的发现和表面等离子阵列结构可以在传感、探测和光谱增强等方面取得一定的应用.     

基于人工神经网络的智能化架空线路应变快速解调方法北大核心

为了提高智能化光纤复合架空线路态势感知的实时性,将人工神经网络方法应用于光纤沿线应变解调,确定了神经网络的结构。编程实现了基于洛伦兹模型的最小二乘谱拟合方法和神经网络方法,采用不同信噪比和布里渊频移的布里渊谱训练神经网络,将它们应用于某光纤复合架空线路沿线光纤应变的测量,从不同角度比较了两种方法的计算结果。计算结果表明,神经网络方法能有效获得光纤沿线的布里渊频移进而获得应变,具有与谱拟合方法相似的准确性,但应变解调时间仅约为谱拟合方法的1/20000。研究结果为提高智能光纤复合架空线路态势感知的实时性提供了参考。     

超宽禁带半导体α-Ga2O3肖特基二极管仿真研究

氧化镓(Ga₂O₃)作为一种新型的超宽禁带半导体材料,与目前常用的半导体材料SiC和GaN相比,具有更大的禁带宽度、更高的击穿场强等优良特性。设计了一种基于α-Ga₂O₃的垂直型肖特基二极管(SBD),采用场板终端结构降低阳极边缘电场强度,研究了不同绝缘材料下阳极附近的电场分布,并探讨了场板结构与长度对其击穿特性的影响。仿真结果表明,在选取HfO₂作为α-Ga₂O₃垂直型SBD场板结构的绝缘材料时,场板结构可以增大该器件的反向击穿电压,最大反向击穿电压可达约1 100 V,对于现实中制备α-Ga₂O₃ SBD具有非常重要的参考意义。     

基于偏振控制技术提高光纤受激布里渊散射慢光稳定性研究

基于对光纤中抽运光束和斯托克斯光束的偏振态控制,提出了一种提高受激布里渊散射(SBS)慢光稳定性的实验方案。通过在保偏光纤两端分别熔接保偏光环行器(快轴阻塞)组成一个慢光单元,确保了光纤中抽运光束和斯托克斯光束具有一致的偏振态(沿保偏光纤慢轴)。建立了基于此慢光单元的SBS慢光实验研究系统,对脉宽为38ns的高斯脉冲获得了0.87ns/dB的时间延迟;相对于不加偏振控管的单模石英光纤而言,该慢光单元系统的布里渊增益因子提高了3倍。研究表明:该方案能有效地提高SBS效应和SBS慢光时延的稳定性。     

一种新的AlGaN/GaN HEMT半经验直流特性模型

在EEHEMT1模型的基础上给出一种新的A1GaN/GaN HEMT半经验直流特性模型,考虑了栅源电压对膝点电压的影响,得到描述AlGaN/GaN HEMT器件I-Ⅴ特性的方程.此模型可以应用于蓝宝石和SiC两种不同衬底AlGaN/GaN HEMT器件的I-Ⅴ特性模拟.仿真结果和实验测量结果拟合误差小于3%.     

雷达组网中的IP实时可靠多播

随着Internet的发展,要求一对多或多对多通信形式的网络应用迅速增长,IP多播服务为该类网络应用提供了一种有效的通信手段。但是基于IP的多播是一种无连接的数据传输方式(UDP),UDP数据传输是一种“尽力而为”的方式,因此在传输过程中存在丢包和乱序现象。对于某些应用,该传输的不可靠性是不允许的,因此出现了可靠多播技术。可靠多播协议的应用针对性很强,不同的应用场合对可靠多播的要求以及实现方法也大不相同。文中分析了雷达组网对多播及其实时性和可靠性的需求,参考现有的解决可靠多播主要问题的方法,初步提出了一种适合于小批量数据分发的实时可靠多播通信协议的设计方案。     

剪切弹性模量测定的一种方法

复合材料的面内剪切模量 G_(12)和剪切强度S 是工程设计中所需要的重要数据.目前虽有许多测试方法,但各有其优缺点.我们采用常用的±45°偏轴拉伸法、薄壁圆筒扭转法以及具有中心反对称±45°切槽的圆板试件(简称 ...