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得克萨期仪器公司的微电子制造科学技术计划,正在九十年代中期发展一种通用的半导体器件制造技术。原位真空处理,组件式群集加工设备,其于传感器的实时过程控制以及计算机集成制造是这项活动的基本组成部分。 相似文献
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