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101.
低相干垂直扫描干涉技术是微结构形貌特征参数无损检测的有效手段。但当微结构的沟槽深宽比高于5∶1时,遮挡效应以及阶跃边缘复杂的衍射效应会导致本应仅包含一个包络的垂直扫描测量干涉信号异常,形成两个甚至多个包络,继而影响形貌检测结果。本文解析低相干垂直扫描干涉的测量过程,采用时域有限差分法对低相干显微干涉测量系统的显微成像、相干扫描测量过程进行数值仿真,计算待测微结构表面返回场及显微成像后的像面干涉场,得到低相干显微干涉信号。分别仿真了深宽比为5∶1、80∶3的硅基沟槽微结构的干涉信号,并与实验室自研的Linnik型低相干垂直扫描干涉系统对沟槽微结构的检测信号进行对比,匹配其高深宽比沟槽结构干涉信号的双包络及幅频双峰性的特征,验证所提方法的准确性。该仿真方法可应用于实测前对被测结构低相干显微干涉信号的先验性仿真计算,通过提前分析信号特征,为形貌复原算法的选取及改进指引优化方向。 相似文献
102.
从显微成像测量线宽的理论模型出发,分析了限制测量精度的边缘定位误差因素,基于阶跃边缘衍射光强微分的灵敏探测原理,提出一种平移差分的微结构线宽显微测量方法,即使用压电陶瓷微位移平台微量移动待测微结构沟槽,两步平移并采集三幅对沟槽清晰成像的显微图像,显微图像依次相减得到两幅差分图,将线宽测量转为差分脉冲距离测量,利用差分脉冲在阶跃边缘附近梯度变化灵敏度高的特点,突破衍射极限,提高线宽测量精度;再用纳米精度压电陶瓷位移台标定与显微成像系统有关的倍率测量常数,以压电陶瓷位移台的高精度保证测量结果的准确性。以可溯源计量部门、线宽为30.00μm的标准沟槽样板作为待测样品,10次测量得到线宽测量平均值30.03μm,标准差0.005μm,并对本方法进行了不确定度分析,最终得到合成不确定度为0.37%(k=1)。 相似文献
103.
摩擦过程中真实接触面积的灰色分析 总被引:1,自引:1,他引:1
灰色系统理论是近几年以随机过程为研究对象而形成和发展起来的,在农业和自动控制等方面的研究与应用发展较快.为了使这种理论应用于摩擦学研究领域,从光全反射测量和计算机数值计算两方面,考察了粗糙表面接触时真实接触面积的随机特性,指出摩擦过程中的真实接触面积是一种含有随机成分的变化量,研究目标应当侧重于真实接触面积的变化趋势和范围,而不是它的精确解.在此基础上,首次利用灰色系统理论,分别对静态和动态接触条件下真实接触面积的变化规律进行了灰色分析,建立了精度比较高的预测真实接触面积的灰色模型CM(1,1).这种模型对动、静接触面积的计算值与实测值具有良好的一致性,可以用于动态跟踪描述摩擦过程中真实接触面积的变化规律 相似文献
104.
利用~1H-NMR原位追踪在L-缬氨酸存在下合成花状纳米聚苯胺的形成过程中发现此结构的形成经历3个阶段:首先在苯胺与缬氨酸构成的类胶束结构内聚合成吩嗪类寡聚物;其次通过p-p重叠作用及胶束融合过程成为片状聚集体;最终通过与缬氨酸形成氢键组装成花瓣状纳米聚苯胺.通过改变反应条件,对比形成过程中核磁共振图谱及产物形貌的变化发现花状纳米聚苯胺的形成有如下特征:反应初期L-缬氨酸作为缓冲试剂可以避免苯胺的骤然质子化,有利于生成具有吩嗪结构的寡聚物;反应前苯胺单体与缬氨酸形成稳定的反应环境保证寡聚物始终在其内聚集生长,有效避免了外部环境的影响. 相似文献
105.
机载通信系统的电磁兼容是一个非常复杂的课题,涉及的方方面面非常多。针对机载通信系统中多功能间的电磁兼容问题,从实际工程经验出发,分析了天线布局、收/发通路和系统控制管理对多功能间电磁兼容的影响,提出了天线合理布局、收/发通路合理分配各项指标和系统综合控制管理的设计方法,并给出了典型的应用实例。该设计方法对实现机载通信系统多功能间的电磁兼容有一定参考意义。 相似文献
106.
107.
低质量Si材料制备太阳电池 总被引:2,自引:2,他引:0
通过对比不同硼-磷(B-P)补偿程度的低成本、高杂质含量硅材料制备的太阳电池的性能,发现在含B和其它杂质含量都比较高的Si材料中通过掺入P补偿过多的B可以提高低质量Si片的电阻率、增加少数载流子寿命从而提高电池效率同时还能够减少电池性能的衰减.利用低质量Si材料(B含量2*10-6wt)制作出了效率达到14%左右的大面... 相似文献
108.
在氩气气氛和1173 K保温条件下对La0.63 Gd0.2 Mg0.17Ni3.1 Co0.3 Al0.1储氢合金进行不同时间(t=8 ~168 h)的热处理,采用电感耦合等离子发射光谱(ICP)、X射线衍射(XRD)、电子探针显微分析方法(EPMA)和电化学测试分析方法对比研究了退火时间对合金显微组织演化和电化学性能的影响.研究结果表明,铸态合金组织由Ce2 Ni7型、Gd2Co7型、Pr5 Co19型、PuNi3型和CaCu5型相组成,其Ce2 Ni7型相的丰度为78.9%,随退火时间的延长,退火合金中Ce2 Ni7型相的丰度逐渐增加,当退火时间t=168 h时其相丰度达到94.5%,Ce2 Ni7型相结构的晶胞参数和晶胞体积随退火时间增加而减小.电化学测试分析表明,退火合金电极的电化学性能与Ce2 Ni7型相的丰度有密切关系,退火时间对合金电极的活化性能影响不大,但合金电极放电容量随退火时间的延长逐渐提高,当t=168 h时,合金电极放电容量达到最大值386.8mAh·g-1;退火时间对合金电极循环稳定性的提高和改善有不同程度的影响,当退火时间t=16~168 h时,经100次充放电循环后,其电极容量保持率S100=90.3%~91.5%.热处理能有效改善合金电极电化学反应的动力学性能,但不同退火时间对合金电极的高倍率放电性能影响不明显. 相似文献
109.
随着社会的科技发展,超高清数字电视已经在我国开始普及,高清数字电视已经是人们追求时尚的一个热点话题。研究人员对高清电视这一领域进行了深入的研究。高清数字电视的比以往电视的分辨率要高很多倍,极大了丰富了人们的生活,使生活不再单调乏味。高清数字电视在科技上比较领先,它的分辨率非常的高,在电视运行的时候也必须要配备相对较大的容量信号数据装置才可以满足高的分辨率,这里要用到电视压缩编码技术。本文主要探讨了高清数字电视的特点和电视压缩编码的技术问题。 相似文献
110.
随着越来越多的民用机场以及航路上导航设备的使用,飞行的准确性大大地提高了,同时间隔标准更为精确。文章主要将雷达和甚高频全向信标台(VOR)、测距仪(DME)、无向信标台(NDB)等导航设施和间隔标准结合在一起,通过对导航设施和间隔标准的联系来提高空域使用效率。 相似文献