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对于如今的CMOS集成工艺,应变金属栅是关键的工艺引入应变技术(PIS,process-induced-strain)之一。在本文中,为了在20nm高K金属栅后栅工艺的nMOS器件中得到较高栅应力,我们对金属栅结构和薄膜工艺的优化进行了大量的研究。通过TCAD工具对工艺和器件的仿真,我们研究了先进应变金属栅技术对器件性能的影响。带有不同栅应力(0GPa~-6GPa)的金属栅电极被应用在器件的仿真中,与此同时,其他PIS技术,如e-SiC 和氮化物应力层也被应用于器件中。随着器件尺寸的减小,应变金属栅对器件中沟道载流子输运有巨大的提高作用。此外,一种新型的角栅电极结构被提出,角度与沟道应力的关系被研究。同时,一种新的全应变金属填充栅以及用平板型氧化铪层代替U型氧化铪层,都能够提高应变金属栅的效果。为了在金属栅中得到更大应力的薄膜,我们优化了物理汽相淀积氮化钛的工艺条件。在氮气流量大约6sccm,较高溅射功率和较薄膜厚的情况下我们得到了最大的压应力-6.5GPa。 相似文献
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分析并讨论了应用于相位体制数字射频存储器的DAC静态参数的表征方法.提出用时间非线性(TDNL和TINL)、幅度非线性(ADNL和AINL)以及相位非线性(PNL)来全面描述相位体制DAC的静态性能.仿真结果证明上述静态参数对DAC的频域性能有着显著影响,用它们表征相位体制DAC的静态性能是必要且可行的.采用上述方法对利用标准75mm GaAs MESFET全离子注入工艺流片得到的3bit相位体制DAC进行了低频静态测试,其静态参数优异,性能良好. 相似文献
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许淼 殷华湘 朱慧珑 马小龙 徐唯佳 张永奎 赵治国 罗军 杨红 李春龙 孟令款 洪培真 项金娟 高建峰 徐强 熊文娟 王大海 李俊峰 赵超 陈大鹏 杨士宁 叶甜春 《半导体学报》2015,36(4):044007-4
文章研究了亚 20nm 节点后栅工艺体硅 FinFET PMOS 器件制作过程中一系列工艺参数对器件微缩的影响。实验结果表明细且陡的梯形Fin结构有更好的性能。文章针对穿通阻挡层(PTSL) 和轻掺杂源漏扩散区 (SDE)的注入条件也进行了仔细地优化。SDE之后没有热退火过程的器件由于在源漏退火之后有更好的晶格再生因而拥有更大的驱动电流。带边功函数器件能够改善短沟道效应,而带中功函数具有更大的驱动电流。器件在微缩过程中针对金属栅的有效功函数需要折衷选择。 相似文献
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将具有双-2-脲基-4[1H]-嘧啶酮(bisUPy)的β-二羰基氟硼类衍生物(BF2-bisUPy)及卟啉衍生物(Por(Pt)-bisUPy)通过四重氢键作用组装成超分子聚合物,通过微乳液法制备成在水中均匀分散的超分子聚合物纳米颗粒(SPNP)。扫描电子显微镜形貌表征表明获得的纳米颗粒粒径约为60 nm。紫外-可见吸收光谱、荧光发射光谱及寿命衰减实验均证明纳米颗粒内BF2-bisUPy与Por(Pt)-bisUPy可发生高效的能量传递。具有双光子吸收的BF2-bisUPy作为能量供体,可通过荧光共振能量传递(FRET)增强双光子激发下Por(Pt)-bisUPy的发光。双光子激发荧光强度与激光功率测试表明所制备的超分子聚合物纳米颗粒具有强烈的双光子激发下的荧光及磷光双发射,这种纳米材料可进入细胞,具有优秀的生物相容性,并在双光子激发时表现出强烈的荧光和磷光双发射生物成像。 相似文献
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对一种含氮、磷、钾三种营养元素的高分子型缓释化肥—MSF,分别在去离子水及土壤溶液中进行了养分释放规律的研究.实验结果显示:在120天内,MSF在去离子水中失重不到40%,氮、磷、钾三种营养元素也只分别溶出了30%,28%和38%;而在土壤溶液中,在120天内,MSF失重接近100%,氮,磷,钾三种营养元素基本完全转化为小分子物质溶入土壤溶液中.实验结果表明:(1)MSF初期溶出率较低,能显著的减少淋溶损失.(2)MSF能在土壤溶液中完全降解,养分的可利用率高.(3)MSF水解反应缓慢,性能较为稳定,便于存放和使用. 相似文献
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La0.5>RE0.3Sr0.2FeO3-δ (RE = Nd、Ce、Sm)体系双稀土阴极材料的制备与电性能 总被引:5,自引:0,他引:5
采用甘氨酸-硝酸盐法(GNP)合成了La0.5RE0.3Sr0.2FeO3-δ(RE=Nd、Ce、Sm)系列复合氧化物粉体. 用X射线衍射(XRD)和TG-DSC分析了样品钙钛矿物相的形成过程, 用Archimedes排水法测量体积密度并计算烧结样品的相对密度, 用四端子技术测量电导率. 结果显示, 掺Nd的样品1200 ℃烧结2 h成为单一立方钙钛矿结构, 掺Ce样品有明显的CeO2立方相析出, 掺Sm样品主相为钙钛矿结构伴有微弱的杂峰. 1250 ℃烧结2 h的La0.5Nd0.3Sr0.2FeO3-δ在600 ℃时电导率高达100 S•cm-1以上, 明显高于La0.5Ce0.3Sr0.2FeO3-δ及La0.5Sm0.3Sr0.2FeO3-δ样品的电导率, 预示着La0.5Nd0.3Sr0.2FeO3-δ可能是一种良好的中温固体氧化物燃料电池(SOFC)阴极材料. 相似文献