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利用直流脉冲磁控溅射方法在室温下通过改变O2流量制备具有不同晶体结构的N掺杂TiO2薄膜,利用台阶仪、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计等设备对薄膜沉积速率、化学成分、晶体结构、禁带宽度等进行分析.结果表明:所制备的薄膜元素配比约为TiO1.68±0.06N0.11±0.01,N为替位掺杂,所有样品退火前后均未形成Ti—N相结构,N掺杂TiO2薄膜的沉积速率、晶体结构等主要依赖于O2流量.在O2流量为2 sccm时,N掺杂TiO2薄膜沉积速率相对较高,薄膜为非晶态结构,但薄膜内含有锐钛矿(anatase)和金红石(rutile)相晶核,退火后薄膜呈anatase和rutile相混合结构,禁带宽度仅为2.86 eV.随着O2流量的增加,薄膜沉积速率单调下降,退火后样品禁带宽度逐渐增加.当O2流量为12 sccm时,薄膜为anatase相择优生长,退火后呈anatase相结构,禁带宽度为3.2 eV.综合本实验的分析结果,要在室温条件下制备晶态N掺杂TiO2薄膜,需在高O2流量(>10 sccn)条件下制备.
关键词:
2薄膜')" href="#">N掺杂TiO2薄膜
磁控溅射
化学配比
晶体结构 相似文献
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用斯托克斯矢量分析液晶的旋光特性 总被引:1,自引:0,他引:1
本文运用斯托克斯矢量、穆勒矩阵和类比的方法,对扭曲向列型液晶和胆甾型液晶的旋光机理进行比较直观的解释,构建简单物理图像,揭示两种液晶产生旋光效应的本质,并得出在长波长条件下胆甾型液晶的旋光率公式R=-π△n^2p/4λ^2. 相似文献
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根据轨道交通在国内各大城市普遍投入运营的实际情况,介绍了地铁乘客信息系统(PIS)的基本功能、特点和系统组成;针对无线通信技术发展特点及在地铁运用中的新情况,重点阐述了PIS系统在车、地无线通信中需关注的几点事项. 相似文献
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随着5G、大数据、云计算、物联网、区块链和人工智能等技术的发展,基站、集团客户和新形态的业务需求不断涌现。运营商面对的承载需求逐步多元化,全业务运营将推动网络从多种技术并存逐步走向融合,形成灵活智能的综合承载网。SPN和STN技术作为主流综合承载技术,助力运营商在基站回传和云网业务方面的发展。本文从技术特征、组网特性以及承载业务等多维度对SPN和STN两种技术进行了对比,为网络技术选型提供了参考。 相似文献
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He-Ne激光对红细胞的作用至今尚有争论,有的认为He-Ne激光可引起周围血液和凝血系统的变化,提高血液中红细胞和血红蛋白的含量。1962年巴黎国际血液研究所报告:激光可以对红细胞造成损害,而对白细胞没有引起损害。 相似文献
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以经典BZ化学反应体系的三变量Oregonator模型及电极过程动力学为基础,提出了外控弱周期电极电流约束下电极BZ反应体系与体相BZ反应体系相互耦合的动力学模型.在体相处于稳定定态参数条件下,系统地研究了外控弱周期电流约束下电极BZ反应体系中的动力学行为,定量分析了电流慢变流型上的准定态稳定性及有利于出现极限环振荡区域.研究表明,与以前所报道的外控弱周期电位约束情况类似,在外控弱周期电流约束下电极BZ反应体系中的极限环振荡区域亦发生了蜕变,但体系对外控电流约束中的这种持续性之周期扰动的响应表现在两个方面:有利于出现极限环振荡区域的缩变及原非振荡区胁迫振荡的出现. 相似文献