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半导体制造工艺中的薄膜生长,迄今广泛应用的是热CVD法(Chemical VaporDeposition)和等离子CVD法,而这些方法是在高温状态下进行的,因此,对那些衬底耐热性较差或者经高温处理其性能和可靠性要降低的器件来说,利用这些方法有一定的困难。为了提高大规模集成电路、超大规模集成电路的性能、集成度和成品率,迫切需要一种能在低温下形成高质量薄膜的薄膜生长新技术。  相似文献   
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I.Introducti0nlnPart(l),thethree-porous-medium1nodeIisdevelopedtosimulatethebLliddynan1icproblem0ftulbormicrocirculation.Thepressureandvel0citypr0fileofblo0d,lyn1phandinterstitialI1uidarcobtaincLl.Basedol1thescsoltltions,tl1ctral1sl,ortpr0ccss()finbbUbOg10bUlb1G(lgG)anditSal1tigCb-bindil1gfraglbCI1t(Fab)iI2thCl1Orn1al-tlSSuC-surroundcdtunlorareana1yzedibthispapcl'.Thel1nitcclcn1el1tlbetl1odisuscdtos0lvethcdit1'usion-convcctiollequatiol1stogcttbccol1cel1trationproIbeoflgGandFabil1bloo…  相似文献   
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介绍了电视信号数字压缩编码的基本原理,国际标准及我们研制的34Mb/,8Mb/s数字电视传输设备。  相似文献   
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据WSTS(世界半导体市场统计)报道,1995年的半导体市场比上年急增39.7%,这在10年中增长率最高的,约达12兆日元(1400亿美元)。除去影响美元稳定的因素外,实际增长率为30%。产品类别,占1994年结构比例32%的MOS存储器1995年将增长57%,其中,DRAM1995年将增长68%,使整个半导体市场上升。约占23%的微处理器等MOS微处理1995年将增长37%。整个半导体市场1996年增长18.7%,1997年增长16.3%,1998年增长18.6%,都将保持二位数的增长。1995年半导体市场中DRAM将增长68%@一凡…  相似文献   
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