全文获取类型
收费全文 | 135篇 |
免费 | 19篇 |
国内免费 | 21篇 |
专业分类
化学 | 6篇 |
晶体学 | 1篇 |
力学 | 9篇 |
物理学 | 47篇 |
无线电 | 112篇 |
出版年
2023年 | 1篇 |
2022年 | 1篇 |
2021年 | 2篇 |
2020年 | 4篇 |
2019年 | 5篇 |
2017年 | 5篇 |
2016年 | 4篇 |
2015年 | 5篇 |
2014年 | 11篇 |
2013年 | 5篇 |
2012年 | 4篇 |
2011年 | 14篇 |
2010年 | 5篇 |
2009年 | 10篇 |
2008年 | 9篇 |
2007年 | 8篇 |
2006年 | 12篇 |
2005年 | 8篇 |
2004年 | 12篇 |
2003年 | 18篇 |
2002年 | 6篇 |
2001年 | 4篇 |
2000年 | 3篇 |
1999年 | 6篇 |
1998年 | 4篇 |
1997年 | 4篇 |
1994年 | 1篇 |
1992年 | 1篇 |
1991年 | 1篇 |
1989年 | 1篇 |
1987年 | 1篇 |
排序方式: 共有175条查询结果,搜索用时 218 毫秒
121.
122.
123.
124.
125.
126.
127.
Upgrading design of the 3B1A beamline for x-ray nanometre lithography of microelectronic devices at BSRF 下载免费PDF全文
Beijing Synchrotron Radiation Facility is a partly dedicated synchrotron radiation source operated in either parasitic or dedicated mode. The 3B1A beamline, extracted from a bending magnet, was originally designed as a soft x-ray beamline for submicro x-ray lithography with critical lateral size just below 1μm in 1988 and no change has been made since it was built. But later the required resolution of x-ray lithography has changed from sub-micrometre to the nanometre in the critical lateral size. This beamline can longer more meet the requirement for x-ray nano lithography and has to be modified to fit the purpose. To upgrade the design of the 3B1A beamline for x-ray nano lithography, a mirror is used to reflect and scan the x-ray beam for the nano lithography station, but the mirror's grazing angle is changed to 27.9mrad in the vertical direction, and the convex curve needs to be modified to fit the change; the tiny change of mirror scanning angle is firstly considered to improve the uniformity of the x-ray spot on the wafer by controlling the convex curve. 相似文献
128.
以蔗糖、葡萄糖为表征物,研究了在不同超载方式和超载程度时,糖醇在制备色谱(PLC)上的分离行为及各柱分离参数的变化规律。结果表明,单组分体积超载可用理论塔板数N、峰宽W进行描述,浓度超载用N、拖尾因子Tf进行描述;双组分超载方式用N、分离度Rs等柱分离参数进行描述。提出了一种以N作为超载的通用表征参数,Tf、W和Rs分别为比较好的表达单组分浓度超载、体积超载和双组分超载点表征参数的超载表征方法。通过上述参数分析得到蔗糖、葡萄糖的单组分浓度超载点分别为150,200 g/L ;双组分混合样品受彼此 相似文献
129.
130.