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微波反射光电导衰退法是一种非接触式的半导体材料少子寿命表征手段,本文用微波反射光电导衰减法测试了台面InGaAs光电器件制备中各单项工艺(刻蚀、腐蚀、硫化)中InCaAs样品的少子寿命分布,结果表明,离子刻蚀使得样品少子寿命降低,非均匀性增大,而湿法腐蚀能够在一定程度上修复离子刻蚀带来的损伤,损伤区域中心的少子寿命增大,寿命分布也更加均匀,硫化钝化能够进一步提高损伤区域少子的寿命,却使寿命分布均匀性变差。可见,微波反射光电导衰减法可以简单无损地得到样品少子寿命分布,对工艺改进具有重要的指导意义。 相似文献
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微波反射光电导衰退法是一种非接触式的半导体材料少子寿命表征手段,本文用微波反射光电导衰减法测试了台面InGaAs光电器件制备中各单项工艺(刻蚀、腐蚀、硫化)中InCaAs样品的少子寿命分布,结果表明,离子刻蚀使得样品少子寿命降低,非均匀性增大,而湿法腐蚀能够在一定程度上修复离子刻蚀带来的损伤,损伤区域中心的少子寿命增大,寿命分布也更加均匀,硫化钝化能够进一步提高损伤区域少子的寿命,却使寿命分布均匀性变差.可见,微波反射光电导衰减法可以简单无损地得到样品少子寿命分布,对工艺改进具有重要的指导意义. 相似文献
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宿州市有线电视网络中心根据本地区网络的建设现状和社会公众对信息的需求,为了更好地充分利用网络资源,于2002年9月在市区开始进行CATV宽带综合网的建设工作,经过一段时间的建设与发展,双向网络已覆盖1.5万用户,通过Cable Modem接入Internet的用户已达数百户.在上行5~65 MHz频率范围内存在多种干扰,而且在上行通道的结构中,各种信号从系统相连的每个用户到回传系统是多点到一点,所有的干扰与噪声都在前端汇聚,虽然选用的是基于S-CDMA技术的TERAYON CM设备,能够在载噪比为15 dB的情况下保证数据传输,但在载噪比接近临界值时,数据传输有丢包现象发生.针对这一问题,我们在实践中采取了一些措施,介绍如下.…… 相似文献
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宿州市有线电视网络中心根据本地区网络的建设现状和社会公众对信息的需求,为了更好地充分利用网络资源,于2002年9月在市区开始进行CATV宽带综合网的建设工作,经过一段时间的建设与发展,双向网络已覆盖1.5万用户,通过Cable Modem接入Internet的用户已达数百户.在上行5~65 MHz频率范围内存在多种干扰,而且在上行通道的结构中,各种信号从系统相连的每个用户到回传系统是多点到一点,所有的干扰与噪声都在前端汇聚,虽然选用的是基于S-CDMA技术的TERAYON CM设备,能够在载噪比为15 dB的情况下保证数据传输,但在载噪比接近临界值时,数据传输有丢包现象发生.针对这一问题,我们在实践中采取了一些措施,介绍如下. 相似文献