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101.
SiC MESFET工艺技术研究与器件研制 总被引:3,自引:1,他引:2
针对SiC衬底缺陷密度相对较高的问题,研究了消除或减弱其影响的工艺技术并进行了器件研制.通过优化刻蚀条件获得了粗糙度为2.07 nm的刻蚀表面;牺牲氧化技术去除刻蚀带来的表面损伤层,湿氧加干氧的氧化方式生长的SiO2钝化膜既有足够的厚度又保证了致密性良好的界面,减小了表面态对栅特性和沟道区的影响,获得了理想因子为1.17,势垒高度为0.72 eV的良好的肖特基特性;等平面工艺有效屏蔽了衬底缺陷对电极互连引线的影响,减小了反向截止漏电流,使器件在1 mA下击穿电压达到了65 V,40 V下反向漏电流为20μA.为了提高器件成品率,避免或减小衬底缺陷深能级对沟道电流的影响,使用该工艺制备的小栅宽SiCMESFET具有195 mA/mm的饱和电流密度,-15 V的夹断电压.初步测试该器件有一定的微波特性,2 GHz下测试其最大输出功率为30 dBm,增益大于5 dB. 相似文献
102.
103.
介绍了现有音频编码格式,重点分析了杜比AC-3格式立体环绕、全音频范围的宽频带、各声道分离、动态范围广以及兼容性好的优点。 相似文献
105.
106.
一、亲水性保护基在使用经典方法进行多肽合成中常用的保护基都具有疏水性质,因此可使保护肽类在有机溶剂中的溶解度增加。然而随着肽链的增长和溶解度下降,给肽键的形成反应及产物的纯化过程造成很大困难。为改 相似文献
107.
激光二极管抽运的高效高重复频率Nd∶YAG陶瓷激光器 总被引:1,自引:0,他引:1
研制了激光二极管(LD)抽运的高效高重复频率声光调QNd∶YAG陶瓷微型激光器件。激光器采用激光二极管纵向同轴抽运Nd∶YAG陶瓷得到1064nm近红外激光输出,采用熔融石英作声光介质,声光调Q重复频率1Hz~115kHz可调。使用2W的激光二极管抽运,获得脉冲宽度16.4ns,峰值功率2.46kW,单脉冲能量40.5μJ的稳定运转。在重复频率110kHz时获得495mW的平均功率,总光光转换效率达24.75%。研究了重复频率及抽运功率对声光调Q脉冲激光器性能的影响,并对实验结果进行了相应的分析讨论,在理论上加以合理的解释。 相似文献
108.
<正> 为适应科学技术发展和教学、科研、生产、科技交流的需要,中国大百科全书出版社继1985年出版《中国大百科全书·力学》卷后,应广大读者建议,组织中国力学界著名专家、学者、教授编撰了具有权威性的科技工具书《力学词典》,并将于1999年上半年出版发行。 《力学词典》编撰工作是在以钱伟长、钱令希、郑哲敏、林同骥、朱照宣为首的中国大百科全书力学编辑委员会指导下进行的,是中国力学界集体智慧的结晶。 相似文献
109.
This paper deals with the forced longitudinal vibration of a rod carrying a concentrated mass and supported by a spring at
one end. The vibration of the rod is excited by the motion of the support point at the other end. Since the boundary conditions
of the problem are complex and it is necessary to consider the damping, we determine only the steady state periodic solution.
First the linear system is analysed; then the material nonlinearity is considered and the approximate analytic solution of
nonlinear partial differential equation with nonlinear boundary conditions is obtained by the perturbation method. 相似文献
110.
当前5G MR/MDT等定位技术尚不成熟且样本过少,本文提出了一种基于建筑物信息的5G Massive MIMO天馈寻优方法,利用5G大规模阵列天线的技术优势,通过Massive MIMO天线波瓣宽度的精确计算,实现了天线覆盖方案的寻优,以最大程度地提升室内覆盖.本方法在降低网络运维成本的同时,提升了资源效能,为后续5... 相似文献