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Characteristics and properties of metal aluminum thin film prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology 下载免费PDF全文
Metal aluminum (Al) thin films are prepared by 2450-MHz electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition on glass and p-Si substrates using trimethylaluminum as the precursor and hydrogen as the reductive gas. We focus our attention on the plasma source for thin-film preparation and annealing of as-deposited films related to the surface square resistivity. The square resistivity of as-deposited Al film is greatly reduced after annealing and almost reaches the value of bulk metal. Through chemical and structure analysis we conclude that the square resistivity is determined by neither contaminant concentration nor surface morphology, but by both crystallinity and crystal size in this process. 相似文献
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基于超材料的电磁谐振原理设计了一种三波段的超材料吸波体.该吸波体由电环谐振器和金属线组成.仿真结果显示,该谐振器有3个明显的吸收峰.在8.06GHz时,吸收率达到了94.02%;在4.76GHz时,吸收率为79.02%;而12.3GHz时,吸收率则是73%.在此基础上,利用一种结合了连续蚁群算法和差分进化算法的新型优化算法对该结构进行优化,使得该结构在4.9GHz和11.85GHz附近吸收率达到95%以上,可以灵活地实现特定频率处的高吸收率. 相似文献
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读了张振森等同志来信,很受启发,也想谈谈微量金测定中的某些问题。1.试祥分解诚如来信指出的,某些试样例如二氧化硅晶格中的包金不能被王水溶出,结果偏低,笔者深有同感。但对含硫等有机质高的试料,正如许多人曾指出的,王水溶矿往往不能解决问题。如事先于750—800℃灼烧,则效果较好。笔者曾对此作过比较,结果见表1。但应指出,灼烧时应先于400℃除砷,以防止生成金的砷化物挥发而导致损失。 相似文献
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制备1┐氰基┐2,3,5┐三┐O┐苯甲酰基┐β┐D┐呋喃核糖的简便方法张万轩*雷策南黄锦霞陈家威(湖北大学化学系武汉430062)关键词鸟苷,制备,氰基三苯甲酰基-β-D-呋喃核糖,三甲基氯硅烷1996-08-12收稿,1997-03-05修回1-氰... 相似文献