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21.
温度因素对热超声键合强度的影响实验研究
总被引:3,自引:0,他引:3
隆志力
韩雷
吴运新
周宏权
《半导体技术》
2005,30(6):41-44
主要研究了热超声键合过程中环境温度对键合强度的影响规律.分析了键合强度与键合温度之间的关系.实验研究发现,最佳键合"窗口"出现在200~240℃,此时键合强度可达20g左右.对推荐使用的大于5.4g的键合强度标准,本实验条件下可键合"窗口"为120~360℃.这些实验现象和分析结果为后期的键合参数匹配规律和系统动态特性研究打下基础.
相似文献
22.
基于压电材料的引线键合微夹持器设计
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隆志力
刘谋洋
张建国
《压电与声光》
2012,34(6):853-856
引线微夹持器是IC/LED键合系统的关键模块.该文综合采用压电智能材料与柔性联接的组合结构,设计了键合系统的引线微夹持器.利用有限元法,计算了微夹持器的振动模态与静力特性,获得了系统的固有频率、振动模态及电信号驱动下的支臂端部张开量.在实验上,通过高速摄像系统的跟踪实验,捕获了系统支臂端部的运动行为,获得了系统张开量与驱动电压的关系;并用激光非接触测量技术,获得系统端部的振动特性.该文计算与实验均为引线微夹持器的可靠性应用提供基础.
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