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11.
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作   总被引:2,自引:1,他引:1  
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。  相似文献   
12.
一个集成光波导器件计算机辅助分析系统及其应用   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文介绍一个集成光波导器件计算机辅助分析与设计系统──IOCAD,该软件采用标量单向束传播方法及快速傅立叶交换技术,具有波导结构输入简单、菜单提示全面、使用方便、功能强、速度快等特点,只要分析参数适当,IOCAD具有足够精度.IOCAD可对满足BPM适用条件的多种折射率分布的任何结构的波导器件进行模拟分析.本文同时给出几个模拟实例.  相似文献   
13.
运用传输矩阵理论分析了一种包层半径变化的光栅结构。对包层形状变化取不同形式的光栅传输特性进行了模拟。研究发现,包层半径沿z轴非单调变化将比单调变化时具有更好的方波形反射谱;当半径变化因子g取0.1,包层形状为sin型及外加应力F为1.0N时,可以得到带宽为0.9nm,中心波长为1.55685μm的方波形反射谱。对光栅施加外力时的应变响应进行了研究,发现其对应力也是非常敏感的。  相似文献   
14.
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极.腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作.采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大的改善,并且抛光不影响器件的结构,最后制作出了均匀一致的光开关阵列扭臂驱动结构.  相似文献   
15.
陈维友  刘式墉 《计算物理》1999,16(4):428-435
以耦合波方程为基础,经过适当的近似处理,给出一个比较简单的适用于有内部相移的单模分布反馈半导体激光器电路模型。该模型可用于直流、交流和瞬态分析。适于在开发光电集成回路电路级模拟软件中采用,亦可加入到现有电路模拟软件中。  相似文献   
16.
在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移。将会有一定的困难。提出了一种采用线阵CCD技术的光学测量方法,实现了对光开关悬臂梁在驱动电压作用下的旋转角度的精确测量。通过理论推导得到了悬臂梁扭转角度与可测量物理量的关系.通过求解方程得到了各个物理量的数值选择对于测量结果的影响,并且给定了测量时各个物理量的参考值。通过实验测量,误差小于10%,表明这是一种具有实际意义的测量方案。  相似文献   
17.
MOEMS光开关静电驱动的优化设计   总被引:6,自引:0,他引:6  
给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构,给出了静电驱动等方面的分析结果。  相似文献   
18.
应用 Harrison模型和各向异性抛物带近似理论计算了 In1- x- y Gay Alx As压缩应变量子阱的能带结构 .为设计 1.55μm发射波长的激光器 ,对可能组分范围内材料的阱宽、微分增益、透明载流子浓度做了系统分析 ,得到一些有用的拟合公式  相似文献   
19.
基于布里渊光时域分析仪的全分布式光纤传感系统中,光纤沿途的探测信号含有噪声导致被测量的温度或应变信息难以识别,光谱拟合的精确度对传感信息的识别非常重要。在传感系统低信噪比的情况下,提出了一种提取高精度布里渊散射谱特征的拟合方法,利用小波去噪结合莱文伯-马奈特(LM)算法调节权值后向传输(BP)网络对布里渊散射谱进行特征提取。克服了传统BP神经网络易陷入局部极值的缺点,保证求解的精度。数值仿真表明,该方法适合不同权重比、不同线宽和低信噪比以及大测量范围的情况进行光谱拟合,并且在信噪比为10 dB的情况下得到拟合度均超过0.96。实验结果表明,该方法适用于多种泵浦功率情况下的布里渊散射谱的特征提取,优于传统BP神经网络算法且具有较高的拟合精度。  相似文献   
20.
PIN光电二极管电路模型的研究   总被引:5,自引:1,他引:4  
陈维友  刘宝林 《电子学报》1994,22(11):95-97
本文给出一个完整的PIN光电二极管(PD)电路模型。该模型适于在开发OEIC电路模拟软件中采用.它可用于直流、交流、瞬态分析.该模型的有效性通过与已报道的实验结果进行比较得到证实。  相似文献   
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