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透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求。超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍射极限并极小化热影响区,具有出色的加工精度与加工质量,为透明介质材料的微纳尺度加工提供了多样化的手段。综述了透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展,包括超快激光加工透明介质材料的内部结构、相关机理和应用领域三个方面,并对透明介质材料的超快激光微纳加工进行了总结与展望。 相似文献
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104.
组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵的基本原理和制备工艺,这是一种效率非常高的制备方法,只需N次刻蚀就可以完成2N通道窄带滤光片列阵的制备,而且可以用于制备不同波段窄带滤光片列阵。展示了可见-近红外波段32通道窄带滤光片列阵和中红外波段16通道窄带滤光片列阵的实验结果,其中32通道窄带滤光片列阵的带通峰位基本呈线性分布在774.7~814.2 nm之间,所有滤光片的半峰全宽都非常窄(δλ<1.5 nm),相应于δλ/λ<0.2%,半峰全宽最窄的滤光片达到0.8 nm,相应于δλ/λ<0.1%,其带通峰位λ=794.3 nm;各通道的带通透过率在21.2%~32.4%之间,大部分在30%左右。 相似文献
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106.
为了提高红外探测器的灵敏度,针对红外探测器元件滤光膜的技术要求,采用Si和YbF3的膜料组合,依据薄膜理论,设计干涉截止滤光膜,满足了3个波段对光学性能的要求,并且在实际制备过程中优化了工艺参数,包括温度、蒸发速率以及离子源辅助沉积参数。通过多次实验研究,对设备的本身误差进行分析修正,提高了膜层厚度控制精度,在蓝宝石基底上成功镀制了1 064 nm透射率为91.5%、1 200~2 900 nm平均反射率大于97%、3 000~5 000 nm平均透射率为93%的3波段干涉截止滤光膜,给出了综合测试结果和实测光谱曲线。 相似文献
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109.
110.
基于HFSS多层宽带微带天线仿真设计 总被引:1,自引:0,他引:1
采用HFSS10电磁场仿真软件设计和仿真了一种宽频带多层微带贴片天线.天线采用双辐射贴片系统,同时利用正方形金属电容片补偿由于馈电探针引入的电感,从而获得了比较宽的工作带宽.该天线仿真的驻波比VSWR≤2时的阻抗带宽达到了25%,覆盖了1.4GHz~1.8GHz的频率范围.且仿真结果表明该天线还具备了良好的宽波束和高增益特性,天线的半功率波束宽度在100度左右,在两个谐振频率点1.45GHz和1.75GHz处的最高增益分别为9dB和10dB,与理论计算的值有很好的一致性.结果也说明了HFSS软件的可靠性和高效性. 相似文献