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本文对InGaAsP/InP(DC-PBH)激光器掩埋异质结液相外延生长中的几个关键工艺问题进行了研究,提出了获得有利于沟道掩埋生长的理想沟道几何图形的新的腐蚀配方(Br_2/HBr),对二次外延再生长光刻腐蚀面损伤层和有害杂质的去除采用了阳极氧化工艺,同时探索了利用二次外延过程中Zn扩散来控制限制层(3)掺杂的新方法,在研究基础上制造了重现性好且性能良好的1.3μm激光二极管,室温时,阈值电流最低小于25mA,典型值为30mA,在60mA直流电流的驱动下,光输出功率高达12.5mW. 相似文献
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本文介绍了软件自动产生系统NDHD中的核心语言的设计,实现与试用情况。NDHD软件自动产生系统是一个依据系统程序设计语言和自展技术进行研制的系统。它的基础是用655机的机器语言编写的核心语言L_0的自编译程序AC_0。采用自展技术可以依次自动产生各层语言L_1,L_2,…L_n的自编译程序。现已产生出两代这种自编译程序。试验表明,本系统不仅使编译程序的生产率提高了四倍,其功能亦有所扩充。文中对L_0设计中的数据结构,控制结构、程序结构、输入输出等成分,以及实现中的间接变量、下标变量、域变量、过程与函数、输入输出及运行等部分的处理算法,均作了简要的介绍。 相似文献
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