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<正> 使用扩散炉采取低压方法的 CVD 技术与以往常压方法相比,在大直径硅片的装片容量和生长膜的均匀性方面都有提高,对高密度高质量的超大规模集成电路的研制会有很大贡献。表1列出的数据是目前半导体制造工艺采用低压 CVD 装置获得的。但是关于器件工艺中的扩散源、铝布线后的钝化以及多层金属布线的绝缘膜等方面最为需要的低温磷硅玻璃(PSG)膜的生长技术,膜厚及磷浓度(方块电阻)分布的控制是困难的, 相似文献
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电子签名法实施已超过八个月。在这八个月的时间里,十二家电子认证服务机构领到了信息产业部颁发的经营许可证,电子签名证书的发放量也有了成倍的增长;在电子签名法及电子支付指引的鼓励下,网上支付快速发展。第三方支付机构已从一年前的几家发展为五十余家;除网上支付外,电子签名在电子税收、电子海关、 相似文献
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利用相对论小核赝势研究了重金属钋化物分子MPo(X^2Ⅱ),(M=Cu,Ag,Au).用群论方法结合原子分子反应静力学原理导出了分子的基电子状态和相应的离解极限,并在各种电子相关理论水平上计算了它们的平衡几何和振动频率.在此基础上用Murrell—Sorbie函数形式拟和势能曲线,得到了总的解析势能函数,并计算出了光谱数据和力常数. 相似文献
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2010年5月17日,世界电信和信息社会日,国际电联将主题确定为“信息技术让城市生活更美好”。这个主题除了与举世瞩目的上海世博会主题交相呼应外,也与我国最年轻的直辖市——宜居重庆的建设不谋而合。 相似文献
37.
本文介绍一种新的实现方法,这种方法利用Y=A~x(mod p)作为单向函数,报文识别也很容易实现。 相似文献
38.
给定有向图D(V,E),如果存在一个单射f:V(D)→{0,1,…,|E|}使得对于每条有向边(u,v),诱导函数f′:E(D)→{1,2,…,|E|}是一个双射函数,其中,f′(u,v)=[f(v)-f(u)](mod(|E|+1)),则f称为有向图D(V,E)的优美标号,f′称为有向图D(V,E)的诱导的边的优美标号.本文讨论了有向图n.■m的优美性,并且证明了当m=23且n为偶数时,n.■m是优美有向图. 相似文献
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