快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响

利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜件能的影响.采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)测鼋样品的少子寿命.实验结果表明随着RTP温度的升高,薄膜厚度迅速减小,折射率迅速增大;低于500℃热处理时,少子寿命基本不变;高于500℃热处理时,随着温度的升高,少子寿命急剧下降.氮化硅薄膜经热处理后反射率基本不变.     

基于多元探测的机载激光测距性能分析

对多元探测的灵敏度模型进行研究,结合探测信噪比、探测概率和虚警率等推导建立了该模型,并进行实验验证,证明了该模型的准确性.在此基础上,仿真分析不同探测条件下,APD单元数、脉冲累加次数、填充因子和死时间对探测灵敏度的影响,为多元APD的选型提供理论依据.结果显示,脉冲累加次数为6时,填充因子越大,死时间越小,测距性能越...     

基于高斯积分的平面波谱法分析天线罩电性能

将平面波谱表面积分法与高斯积分相结合分析天线罩的电特性。在计算了口径天线的差波谱以求解带罩天线差方向图的基础上,将高斯积分应用到由罩外表面切向场求远场方向图中,提高了平面波谱法的计算精度。最后通过具体算例表明了本文方法的有效性。     

自然类动物纪录片的摄影创作手段

自然类动物纪录片在我国的纪录片创作中是一个弱项,但并不意味着我们不能拍摄这一类型的题材。上海电视台纪实频道在"科教兴国"的举国战略指引下,迎难而上,充分利用现有条件,开发功能,改装设备,在资金允许的情况下使用特殊设备,制作《中国珍稀物种》高清系列纪录片,并得到广大同行的认可。     

微波加热高碳铬铁粉气-固相流化脱碳热力学研究

微波加热高碳铬铁粉流态化脱碳是一种简捷的无渣脱碳法,既能获得中低碳铬铁粉,又可避免有害铬渣的排放。高碳铬铁粉气-固相流化脱碳,气体脱碳剂的选择、气-固相流化脱碳热力学条件以及铬氧化热力学就成为试验研究的基础问题。热力学计算研究表明,微波加热温度分别高于298,1380和1435K时,气体脱碳剂O2、CO2、H2O（g）开始和高碳铬铁粉颗粒发生气-固相流化脱碳反应。由于脱碳生成的铬铁素体易被气体脱碳剂所氧化,使得脱碳反应由高碳铬铁粉颗粒表面的气-固相脱碳反应转变为颗粒内部的铬铁碳化物与铬铁氧化物之间的固一固相反应,从而可在一定的微波加热温度、流化时间下实现高碳铬铁粉的深度脱碳。     

本地网CDMA网络PN规划操作应用

本文就如何进行PN偏置规划进行浅析,并总结出相应的优化思路、步骤和验证方法,取得了良好效果。     

通讯设备过流保护用PTC元件的研制

采用电子陶瓷工艺,制备了(Ba0.960Sr0.040Ca0.060)Ti1.044O3+x系过流保护用PTC元件。用SEM、失效模式测试仪等研究了特殊热处理和化学处理对其PTC特性的影响,同时实现了用Al电极代替Ag-Zn欧姆电极。结果表明:该工艺所制元件抗电强度高于600V/mm、耐电压高于950V,失效模式、高压感应性能符合国内55Ω过流保护PTC元件有关规范。     

一种新型的用于红外灵敏探测的低背景光谱仪

提出了一种新型的基于反射光栅干涉仪的低背景光谱仪,当使用工作在背景限制条件下的探测器时,降低背景噪声,有利于提高光谱仪系统的探测率,进而可提高光谱仪的信噪比.由于理想反射镜发射率为零,故其干涉仪组件无黑体辐射.因此,基于低温光源、低温探测器和光栅干涉仪的光谱仪,其探测到的背景辐射大幅降低.进而得到低背景下的探测率实现灵敏探测.理论分析表明随背景辐射的降低,背景限制条件下探测器的探测率可大幅提高.理想情况下,对工作在背景限制下的碲镉汞探测器,当由300 K的背景辐射降至77 K时,其探测率和相应光谱仪的信噪比可提高三个数量级.另外,与之前报导的低温迈克尔逊光谱仪相比,它结构紧凑且无需对干涉仪降温,易于搭建.该设计对红外灵敏探测有重要意义.     

基于改进灰色模型的电力数据预测方法研究

针对传统灰色模型在多原始数据、长时间尺度的负荷预测情景下预测精度差的问题,文中分析了灰色模型(Gray Model,GM)的基本原理,并提出相应的改进措施,其中包括原始数据的加权处理、选取合适的初始条件及自适应优化模型参数.并将改进灰色模型(Improved Grey Model,IGM)应用于电力负荷预测.通过算例分...