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宽带折反射式紫外光刻物镜的设计 总被引:1,自引:1,他引:0
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准. 相似文献
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数学解题应重视隐含条件的挖掘江苏省东台市中学邹锦程所谓隐含条件,是指在数学问题中,除了直接给出的已知条件外,还没直接给出,需要人们去发掘的条件。这种条件一般隐含在定义、定理、公式、法则、图形之中,含而不露,容易被忽视,因而造成解题错误。下面就几个方面... 相似文献
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随着光纤通信和光纤传感技术的不断发展,光纤无源器件和光纤传感器件也正在走向微型化和集成化。在一些微型化器件中,常规的自聚焦透镜、平凸柱透镜和球透镜受到了使用空间的限制,以致于难以再用它来作为光学耦合元件。人们不得不寻求焦距极 相似文献
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日本科学技术厅无机材质研究所新设尖端功能材料研究中心科学技术厅无机材质研究所(茨城县筑波市并木1—1)是属于科学技术厅的科研机构,其任务是就耐热材料、电子材料、超硬材料等具有优良特性的新型非金属无机材料进行研究。1993年4月新设尖端功能材料研究中心... 相似文献
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信息高速公路是信息社会的支柱,电子信息产业是信息社会中国家经济的支柱产业。本文在对信息高速公路具体内容进行了介绍的基础上,对信息高速公路技术结构进行了分析,对信息高速公路与电子信息产业及国民经济发展的重要关系进行了阐述。 相似文献
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