多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究

对多层介质膜光栅以及介质膜反射镜的激光损伤阈值进行了系统的研究。测试方法采用国际测试标准。测试结果表明,介质光栅的损伤阈值远低于未刻蚀的多层介质膜。对样品损伤形貌的扫描电镜照片分析发现,相比于未刻蚀的多层介质膜,介质膜光栅的初始损伤主要发生在光栅槽形的侧壁,且损伤主要是由驻波场的空间分布引起的本征吸收、制备过程中引入的杂质污染以及刻蚀过程中HfO2的化学计量机失衡引起的。     

用于LDD和SST的SiO2边墙干法腐蚀工艺研究

本文从干法腐蚀角度出发,首先从数学上分析了多晶硅角度,SiO_2边墙的宽度和高度,衬底损失与各工艺参数间的关系,指出边墙的宽度和高度分别取决于多晶硅的角度和过腐蚀量。在Tegal1512e设备上,采用Cl_2、SF_6、N_2混合气体,开发了多晶硅干法腐蚀工艺,讨论了LDD的正胶掩膜及SST的SiO_2掩膜对工艺的不同影响。SEM分析发现了SF_6气体腐蚀的各向同性。在Tegal903e设备上,采用CHF_3、SF_6、He混合气体,开发了SiO_2边墙干法腐蚀工艺,研究了腐蚀的各向异性,辐射损伤,选择比,均匀性及重复性的控制方法。取得的工艺结果为,腐蚀速率(?)_(sio_2)≈400nm/min,均匀性U≤±5％,选择比S_(f8)>10,工序能力指数C_p>1。     

高速器件微微秒级的测量系统

新一代高速逻辑器件需要更高速的测量仪器，如微徽秒级的精度和重复性。本文从理论和实验上来讨论怎样建立这种微微秒级的测量系统，提出影响精度的各种因素和有关它们的误差分析，并推荐一套优化系统。     

Laser-induced damage of 1064-nm narrow-band interference filters under different laser modes

The laser-induced damage behavior of narrow-band interference filters was investigated with a Nd:YAG laser at 1064 nm under single-pulse mode and free-running laser mode. The absorption measurement of such coatings has been performed by surface thermal lensing (STL) technique. The relationship between damage morphology and absorption under the two different laser modes was studied in detail. The explanation was given by the standing-wave distribution theory.     

多层介质膜脉冲宽度压缩光栅与超短脉冲作用时的性能分析

基于啁啾脉冲放大技术的超短脉冲激光系统是提供超快、超强激光的重要途径，具有良好输出波形和高损伤阈值的多层介质膜脉冲宽度压缩光栅是获得高峰值功率脉冲激光的关键. 基于傅里叶谱变换方法和严格模式理论，分析了多层介质膜光栅(MDG)在超短脉冲作用下的光学特性. 结果表明，当MDG的反射带宽小于具有高斯分布的入射脉冲的频谱宽度时，-1级反射脉冲呈非对称高斯分布，其前沿出现振荡，并且-1级反射脉冲能量开始剧烈下降. 讨论了MDG结构参数对其反射带宽的影响. 分析了MDG与超短脉冲作用时的近场光分布，对提高其抗激光损 关键词： 脉冲压缩光栅 傅里叶谱变换 模式理论 损伤阈值     

LBO晶体上1 064，532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析

 用电子束蒸发沉积方法在X切LBO（X-LBO）晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532 nm倍频增透膜，其中一种膜系结构为基底/ZrO₂/Y₂O₃/Al₂O₃/SiO₂/空气，另一种为基底/0.5Al₂O₃/ZrO₂/Y₂O₃/Al₂O₃/SiO₂/空气，两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层。测量了薄膜的反射率光谱曲线，发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5％，实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的。且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理，结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能，氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能。     

Influence of coating material on laser damage threshold of TiO_2 films

The optical property,structure,surface properties(roughness and defect density)and laser-induced dam- age threshold(LIDT)of TiO_2 films deposited by electronic beam(EB)evaporation of TiO_2(rutile),TiO_2 (anatase)and TiO_2 Ta_2O_5 composite materials are comparatively studied.All films show the polycrys- talline anatase TiO_2 structure.The loose sintering state and phase transformation during evaporating TiO_2 anatase slice lead to the high surface defect density,roughness and extinction coefficient,and low LIDT of films.The TiO_2 Ta_2O_5 composite films have the lowest extinction coefficient and the highest LIDT among all samples investigated.Guidance of selecting materials for high LIDT laser mirrors is given.     

基于0.35 μm SiGe工艺的高速高精度CORDIC处理器的ASIC实现

针对数字信号处理领域高速高精度实时运算的要求,实现了一种16位全流水高速高精度复数运算的通用CORDIC处理器。电路采用半定制设计方法,用0.35μm SiGe工艺库完成综合、静态时序分析、布局布线,最后在200 MHz时钟频率下通过Nanosim后仿真。结果表明,电路达到了高速高精度的设计要求,可广泛应用于信号处理、雷达、通信等领域。     

Post Pc还是PC Plus?

不只是台湾的选举政坛有口水战,国际电脑界内彼此喊话叫战的情景也不鲜见。不久前一场关于个人电脑的下一步的辩论,也出现这样形式的交锋。一边是不满电脑操作系统长期被美国微软公司强势控制(绑架)的各方电脑豪杰,他们喊出     

臭氧层的化学破坏及其对策

臭氧层的化学破坏是人类的重大环境问题。本文对臭氧层的形成，作用，臭氧层破坏的后果，破坏臭氧层的物质及作用机制和保护臭氧层的对策作了探讨。