Improving accuracy and sensitivity of diffraction-based overlay metrology

Overlay(OVL) for patterns placed at two different layers during microchip production is a key parameter that controls the manufacturing process. The tolerance of OVL metrology for the latest microchip needs to be at nanometer scale. This paper discusses the influence on the accuracy and sensitivity of diffraction-based overlay(DBO) after developing inspection and after etching inspection by the asymmetrical deformation of the OVL mark induced by chemical mechanical polishing or etching. We show ...     

含钪石榴石Nd:GSGG晶体的原料制备、晶体生长及结构研究

提拉法生长的Nd:GSGG是性能优良的激光晶体,在固体强激光领域有重要的运用前景.采用液相共沉淀法制备了GSGG的前驱物,将前驱物在较低的温度下烧结,获得了GSGG多晶原料,用提拉法生长了无散射、气泡、云层、无开裂的φ2626mm×45 mm的含钪石榴石Nd:GSGG晶体.用X射线衍射对GSGG的共沉淀前驱物在不同烧结温度下的相变情况进行了研究,表明在900℃烧结温度下,GSGG前驱物即可反应形成GSGG多晶,这比固相法合成GSGG料的反应温度低了200℃.同时,用X射线衍射对GSGG多晶、Nd:GSGG单晶的结构进行了研究,采用最小二乘法,以f(θ)=sin θ-sin1-Tθ(T=20)为外推函数,计算了GSGG多晶和Nd:GGG单晶的晶格参数,分别为1.257547 nm、1.256163 nm.它们之间的晶格参数差异可能是由于Ga组分的不同所引起的.     

退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

利用电子束蒸发方法在Yb∶YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层ZrO2薄膜,分别在673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后,通过X射线衍射（XRD）分析了薄膜晶相,计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收;测量了退火后薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明:两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响,高温退火有利于单斜相的形成,含单斜相的ZrO2薄膜具有较高的激光损伤阈值,而由于衬底的吸收,Yb∶YAG晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值。     

NO分子X2Π→A2Σ双光子跃迁选择定则的讨论

利用共振增强多光子离化光谱技术 ,获得了NO分子A2 Σ(υ′=0 ,1)态的 2 2共振多光子离化光谱。通过对上述离化过程中NO分子所表现出的不同于普通双原子分子的双光子跃迁选择定则的分析与讨论 ,得出NO分子由基态向A2 Σ态的双光子跃迁遵循与碱金属原子双光子跃迁选择定则相类似的结论 ,并利用NO分子A2 Σ(υ′ =0 ,1)态的双光子荧光激发光谱对上述分析结论进行了进一步的确认。     

一种用于测定高氯酸盐电流效率的气体分析方法及其应用

吭氯酸盐电解电流效率的化学分析过程复杂、费时。本文通过改变电解槽结构,提出一种气体分析方法,即采用氧阴极或使用一张钠离子交换膜改变电极槽结构,通过测定电解槽产气量,得到电解电流效率。与传统分析方法相比,气体分析方法既简单又方便。这种方法特别适用于实验室研究使用和评价阳极材料的电化学性能。此外,使用氧阴极代替铁阴极,可以电解电压和节约电能。     

子宫肌瘤患者血清SOD,MDA的观察

检测了６６例子宫肌瘤患者血清中超氧化物歧化酶（ＳＯＤ）和丙二醛（ＭＤＡ）的含量,探讨其与子宫肌瘤发病的关系。结果表明,子宫肌瘤患者血清中ＳＯＤ的活性较健康妇女明显降低,而ＭＤＡ含量明显增加,两者呈负相关,提示自由基在子宫肌瘤的发病中起着重要作用．     

基于小型化模块相位噪声的间接测试方法

收发电路模块的本振信号质量对系统的整体性能有重要影响。小型化模块由于尺寸的限制,无法在本振的输出端设置测试端口,因此无法直接在本振的输出端准确地测试相位噪声。提出了一种针对小型化收发电路模块本振信号相位噪声的间接测试方法,该方法需要测试模块的输入/输出信号的功率、相位噪声以及整个收发通路的增益和噪声系数,通过公式计算得到本振信号的相位噪声。采用此方法对小型化收发电路模块进行测试,将得到的相位噪声结果与器件指标进行对比,两者高度一致,从而验证了间接测试方法的正确性和有效性。     

电磁波屏蔽复合材料的研究进展

从电磁波屏蔽的机理出发,介绍导电型、导磁型以及导电导磁型电磁波屏蔽复合材料的发展现状,并展望了电磁波屏蔽材料未来的研究方向。     

区间有限元方法及其在抗滑稳定性分析中的应用

通过区间值函数和实值函数的关系探讨了区间相关性导致的区间扩张的问题,给出了保证区间计算获得足够精度的计算方法;提出了基于单元的子区间摄动有限元计算方法,并给出了提高计算效率的一些方法和获得较好计算精度时的子区间数目的近似计算公式．结合工程实例,基于单元的子区间有限元方法和抗滑稳定性分析方法给出了稳定性的区间范围,为更合理地估计和评价结构的抗滑稳定性提供一定的依据．     

稀土、钼酸、糠醛缩水杨酰肼三元配合物的合成、 表征及生物活性的研究

通过回流冷凝法和低温固相法制备了8种稀土、钼酸、糠醛缩水杨酰肼三元配合物, 并通过元素分析, 摩尔电导, IR, UV-vis, TG-DTA, TC-ICP, XRD, XPS对其结构和化学组成进行表征, 确定其化学组成为Re(HL)MoO4Cl•6H2O (HL: 糠醛缩水杨酰肼), 通过抑菌实验表明所制备的三元化合物对大肠杆菌和金黄色葡萄球菌具有中等抑制作用, 属于广谱抗菌剂; 通过MTT比色法对配合物使癌细胞凋亡能力做了初步研究, 结果表明, 三元配合物的IC50在10～100 ng/mL之间, 对癌细胞具有较强的抑制杀伤作用, 具有潜在的药物应用价值.