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对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。 相似文献
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马晓春 《电气电子教学学报》1997,(2)
求动态电路电压和电流响应,需要知道其初始值,初始值一般由0十等效电路求得。但是,有些电路例外。《电工教学》第17卷第4湖中沈传庄老师的《0十等效电路不一定能求解所有初始电压和电流》一文(以下简称“0十文”)就论述了这个问题。这些电路中的一类为:凡是动态电路中存在由电感元件和电流源元件组成的割集,或者存在纯由电感元件组成的割集,则由0十等效电路求不出割集中各元件的初始电压;另一类为:凡是动态电路中存在由电容元件和电压源元件组成的回路,或者存在纯由电容元件组成的回路,则由0十等效电路求不出回路中各元件的初始… 相似文献