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21.
衬底温度对纳米Si-SiO_x薄膜的结构和组分的影响
张仕国
张伟
袁骏
樊瑞新
《半导体学报》
1998,19(12):903-907
本文报道用真空蒸发制备含氧硅薄膜的技术,研究了衬底温度对薄膜结构和组分的影响.实验发现在真空为5×10-3Pa、衬底温度在280~480℃范围内,随着温度的提高,薄膜由非晶、转化为纳米晶体、再转化为多晶,氧含量也随着温度的提高而增加,这可能是由硅原子在生长表面迁移率的增加和氧化速率的提高所致
相似文献
22.
超高真空蒸发沉积酞菁薄膜的X光电子谱研究
许倩斐
季振国
袁骏
《真空电子技术》
2000,(1)
相似文献
23.
水下目标识别中的特征优化选择
总被引:1,自引:0,他引:1
下载免费PDF全文
袁骏
张明敏
孙进才
《应用声学》
2005,24(4):239-243
本文将模式识别中的特征选择方法用于水下目标特征的优化选择。用距离测度作为选择的准则,对提取的三类舰船噪声的高维组合特征进行自动选择,并用10-折交叉验证方法对选择出的特征子集进行评估,分析结果说明该方法能从原始的特征集中选择出有利于分类的特征子集,提高了水下目标分类的正确率。
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