MEMS器件牺牲层腐蚀释放技术研究

以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题。根据二氧化硅的腐蚀机理,指导了对腐蚀孔(槽)的设计,通过测量不同条件下的腐蚀速度,得出升温、超声、适时更换腐蚀液是加快腐蚀速度的方法,基于粘连现象中拉起长度的概念,提出基于硅衬底下突点制作及释放牺牲层的方法,并获得了成功释放。     

应用于流动控制的MEMS传感器和执行器

出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。     

非制冷MEMS红外成像系统

利用光力学效应设计研制了非制冷MEMS红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无Si衬底的非制冷MEMS红外成像焦平面阵列,分析了FPA热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像.     

1＇－O－（苯甲酰）－2＇，3＇，4＇，6＇－四－O－乙酰－β－D－吡喃葡萄糖类化合物合成

本研究以苯甲酸—类化合物为母体，在羧基上引入葡萄糖，形成本甲酸四乙酰葡萄糖酯，合成出１０个苯甲酸类四乙酰葡萄糖酯．对这１０个化合物进行了元素分析、ＩＲ测定，对其中部分化合物作了１ＨＮＭＲ的ＵＶ测定，确证了化合物的结构．对所选化合物５作了质谱测定，化合物１进行了热分解的研究．     

浅析智能手机操作系统的多任务性

智能手机已伴随着我们的生活、工作和学习，而其中起决定作用的是智能操作系统，本文就目前国内市场上主流的Android和IOS两大操作系统的多任务运行机制和推送机制进行了比较和分析，让用户在选择时有一个参考标准。     

索尼爱立信CK15i上市“Q”动你心

2011年6月初索尼爱立信新品CK15i现身官网，当很多人还在猜测这款手机何时在全球上市的时候，索尼爱立信大中华区已捷足先登，将这款新品推向了大陆市场。就此索尼爱立信大中华区总裁奎迈格先生表示，中国消费者对手机外形设计要求非常高，同时社交操作的使用也非常频繁。     

Folin-Ciocalteu比色法测定保健品中多酚总量

目前多酚的测定方法主要有高锰酸钾法、酒石酸亚铁比色法、原子吸收法、紫外分光光度法等.     

Micro thermal shear stress sensor based on vacuum anodic bonding and bulk-micromachining

This paper describes a micro thermal shear stress sensor with a cavity underneath, based on vacuum anodic bonding and bulk micromachined technology. A Ti/Pt alloy strip, 2μm×100μm, is deposited on the top of a thin silicon nitride diaphragm and functioned as the thermal sensor element. By using vacuum anodic bonding and bulk-si anisotropic wet etching process instead of the sacrificial-layer technique, a cavity, functioned as the adiabatic vacuum chamber, 200μm×200μm×400μm, is placed between the silicon nitride diaphragm and glass （Corning 7740）. This method totally avoid adhesion problem which is a major issue of the sacrificial-layer technique.     

用红外辐射烘干火柴

内蒙古杭锦后旗火柴厂原来用锅炉供气烘干火柴,现在改用红外辐射烘干火柴。使原来的对流加热变为现在的辐射加热。通过测定,确定了辐射加热器,选择了在750～3500cm~(-1),1200～950cm~(-1),1500～1400 cm~(-1),1620～1700cm~(-1),3600～3200cm~(-1)区域与火柴头匹配的加热涂料。加热器自动控温,已用于生产实际中。     

日本近年RF MEMS开关研究的进展

RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RFMEMS的执行机构。静电执行器驱动的RFMEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件。