倍频双波长增透膜的研制

本文从理论和实验上对倍频双波长增透膜进行了详细的研讨,给出了膜系的设计和误差分析以及制备工艺,解决了膜的均匀性、波带宽度问题。     

不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响

讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型，具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系，修正了文献中的评估方法，并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软Ｘ射线多层膜光学特性分析模型     

Design of anisotropic reflector with birefringent thin films

A novel design for dielectric anisotropic mirrors with birefringent thin films for normal incidence is presented. This mirror consists of a stack of quarter-wave biaxial layers. The biaxial anisotropic layers can be fabricated by oblique deposition. The reflectance is different for two linear polarizations of light incidence on the mirrors. As a numerical example, the design is carried out on glass with TiO2 and ZrO2. These thin films could be applied to anisotropic reflective devices for lasers.     

重复率激光作用下光学薄膜损伤的累积效应

使用脉宽12 ns,频率10 Hz的1064 nm调Q NdYAG激光器,研究了高反射膜在重复率激光作用下的损伤的累积效应.实验发现,高反射膜的损伤阈值随辐照脉冲数增加而降低,表现出明显的累积效应.通过对损伤阈值和损伤概率以及辐照次数的统计性研究,并结合单脉冲辐照的结果,说明了存在于薄膜中微小的缺陷参与了多脉冲激光对薄膜的损伤过程.可用预损伤机制解释实验结果.得到了关于IBS制备的高反射膜的损伤阈值和照射次数的关系式,并用实验结果进行验证,发现具有很好的一致性.实验过程中样品的损伤形貌通过Nomarski偏光显微镜进行了观察,发现是典型的缺陷损伤.     

三倍频分光膜的设计与试制

报道了基频高反射,二倍频、三倍频高透射的倍频薄膜设计方法,并给出设计结果和实验结果。     

小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。     

纳米小球掩模技术

介绍一种纳米小球掩模技术.给出了这种掩模技术的原理和实验方法,分析了这种掩模中存在的各种缺陷及其原因和改进方法.并纠正了早期工作中对一些现象的误解.以这种掩模技术给出的各种金属小岛作为研究手段,提出了薄膜岛状生长研究的一种新的思路.     

光学薄膜激光损伤的光热偏转法实时研究

本文首次把调制与脉冲光热偏转技术同时置于激光损伤测试装置之中,用以进行光学薄膜激光损伤的实时研究.初步实验结果表明,该方法不仅有助于确定损伤阀值,也有助于分析损伤形貌和损伤过程,包括样品损伤前的行为及样品在重复频率激光作用下损伤的累积效应.     

光学薄膜热膨胀系数的研究

光热位移偏转技术结合横向光热偏转技术可用于研究薄膜样品的热膨胀系数.本文以SiO_2、TiO_2、ZrO_2、MgF_2、ThF4等单层光学薄膜为例.报道相关的实验方法及实验结果.     

不同氧分压下ZrO2薄膜特性研究

在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法生长了氧化锆薄膜.通过扫描探针显微镜、分光光度计、X射线衍射、激光损伤阈值(LIDT)测量等,研究了沉积中氧分压对ZrO2薄膜的微结构、光学性质、激光损伤阈值等的影响.