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等离子体加工技术是近年来发展起来的先进光学制造技术,具有快速缓解或去除传统光学加工方法导致的表面/亚表面损伤,以及高效、高精度和高分辨率修整光学面形的优势。从等离子体光学加工基本原理出发,基于等离子体激发频率与特征对发生器进行了简要叙述;进一步对各研究机构在等离子体加工技术涉及的射流特性、界面物化反应、损伤去除机理、去除函数、加工热效应和工艺定位等关键技术研究内容及成果进行分析,并对等离子体的新型光学加工技术进行介绍。随着研究的不断深入,构建多物理场和化学反应综合作用下的等离子体加工模型,揭示表面等离子体特性分布与去除函数的内在联系,从而建立准确的去除函数模型,是提高修形精度的发展方向,研究热效应控制方法和补偿策略在降低由热效应带来的修形误差方面起到了重要作用。 相似文献
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为了提高现场可编程门阵列(FPGA)的资源利用率,在介绍FPGA重构技术的原理和分类的基础上,讨论了Virtex-4系列FPGA的配置原理和动态重构的方法,并设计出数字信号处理器(DSP)配置FPGA的硬件方案来实现可重构系统。FPGA采用SelectMAP配置方式,实现配置逻辑的快速重构和局部动态重构,最后根据Virtex-4的配置流程和时序关系,给出了可重构系统配置的软件流程。经实验测试,该系统稳定可靠,可在1 s内完成5 Mbyte配置程序的动态重构。 相似文献
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针对大口径衍射光学元件快速高精度分析难题,提出了基于响应函数的光场调制分析方法。首先,将衍射元件表面的微结构分解成多个台阶结构;然后,使用严格矢量理论方法计算台阶对入射光场的调制作用,并转化成阶跃响应函数;最后,利用相干合成原理将每个台阶的阶跃响应函数合成为微结构对入射光场的响应。分析了微结构最小线宽、响应函数作用范围和台阶定位误差等对计算精度的影响,并利用所提方法计算了不同口径衍射透镜的近场及远场分布。结果表明,即使存在25 nm的台阶定位误差,透镜远场的最大光强和衍射效率与严格矢量理论计算结果的差异仍然小于2%,同时计算效率提升了至少3个数量级,可见,所提方法可兼顾大口径衍射元件分析的精度与速度。 相似文献
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