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以采用改进无皂乳液聚合法制备的纳米尺寸聚苯乙烯(PS)微球为内核,采用原位化学沉淀法制备了不同壳层厚度的PS/CeO2核/壳包覆结构复合微球。将所制备的复合颗粒用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,用原子力显微镜测定晶片的微观形貌和粗糙度。电镜结果表明:复合颗粒呈规则球形,其PS内核尺寸约为72 nm,CeO2壳厚为5~20 nm。抛光结果显示:在本实验范围内,抛光速率随抛光压力的增加而增大,而过低(2.4 psi,1 psi=6 895 Pa)或过高(6.1 psi)的抛光压力均使晶片表面产生划痕。当抛光压力适中(4.5 psi)时,经复合磨料(壳厚约为13 nm)抛光后的晶片表面无明显划痕,在5μm×5μm范围内表面均方根粗糙度为0.265 nm,抛光速率达98.7 nm/min。 相似文献
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高频地波雷达多普勒信号的AR预测恢复 总被引:1,自引:0,他引:1
雷电干扰和瞬时突发的无线电通信干扰信号严重影响高频地波雷达的正常工作。干扰严重时通过二维FFT处理仍不能从接收信号中提取目标的距离和速度信息,此时需要对受到破坏的多普勒信号加以修正。为此本文提出基于AR模型的多普勒信号恢复方法。针对多普勒信号被干扰分割的特点,采用前后向预测的LMS算法,首次建立了高频地波雷达多普勒信号的AR预测模型,解决了多普勒信号的恢复问题,从而使高频地波雷达具备了抗瞬时突发干扰的能力。计算机仿真和现场实验数据的处理结果表明本文方法是有效的。 相似文献
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针对硬拷贝设备安全性评估的需求,在通用准则(CC)的基础上,对硬拷贝设备保护轮廓(PP)进行研究,分析了适应我国场景的中风险环境下硬拷贝设备的安全环境和安全目的,提出了相应的安全要求,同时制定了一套硬拷贝设备的安全性评估方法,用于硬拷贝设备的安全性评估以及开发利用。 相似文献
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激光光热辐射技术测量不透明复合材料的热扩散率 总被引:1,自引:2,他引:1
报道了一种用激光光热辐射技术测量不透明材料热扩散率的方法。根据红外探测器在不同频率下测得试样光热信号的振幅和相位 ,采用非线性拟合法 ,由振幅和相位分别对频率进行非线性拟合 ,由此可得材料的热扩散率 ,并对单向氧化铝纤维基复合材料进行了测量 ,给出了任一方向上的热扩散率的实验结果 相似文献