制作深亚微米T型栅的X射线光刻技术

T型栅结构已经广泛应用于赝配高电子迁移晶体管(PHEMT)的制作中去,因为这种结构可以有效地减少由于栅寄生电阻而引起的晶体管噪声.X射线光刻具有工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等诸多优点,更为重要的是,其技术已经比较成熟,它是最好的制作深亚微米T型栅技术手段.本文首先简要介绍我们自行研发的X射线掩模工艺,并对模糊对光刻胶表面的光强分布的影响进行了分析,最后对制作深亚微米T型栅的三层胶方法和在北京同步辐射装置上取得的75nm T型栅图形结果进行了介绍.     

基于SSH框架的低保审核系统的设计与实现

为了提高市政府相关部门关于低保资格审查的工作效率,利用了J2EE技术,对SSH框架整合后进行开发,并利用了MB数据交换技术解决了各个部门间的异构数据交换问题。实践证明,本系统具有良好的跨平台性、可扩展性、可维护性等特点。     

宽带接入网络的安全

讨论了在宽带接入环境下，接入设备、接入网络面临的各种安全威胁，以及针对这些安全问题业界提出的各种解决方案。     

双音多频编解码板的设计与应用

本文介绍了一种双音多频编解码板的设计方案及软件编制，并给出了应用案例。     

电磁发射GTEM室测量方法

应用吉赫横电波(GTEM)室条件对RE102、CE102项目实现测试,测试结果达到相对准确的诊断测试使用要求,可作为低成本EMC诊断测试方法和装置的范例,适用于箱体级设备及分系统的诊断测试。     

布帕伐醌的改进合成方法

布帕伐醌是一种治疗牛泰勒焦虫病的药物,其传统的合成工艺存在产率低、污染严重以及成本过高的问题。本文在目前布帕伐醌的合成工艺上进行了优化,以1,4-萘醌作为起始原料,经过4步转化合成得到布帕伐醌,反应总收率达到62%,产品纯度可达99%以上,该方法在布帕伐醌的大规模生产上具有很好的应用前景。     

X射线光刻对准边缘增强技术及性能研究

针对三种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的实验验证。采用一种新的测试方法，即先通过软件得到大量的数据，然后再进行数据分析，得出LAPLAC算子在识别精度和对准精度两个方面比较好，而改进后的SOBEL II算子的对准时间最短，对准精度也很高。     

深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS 1.0

介绍了一套自行研制的深亚微米同步辐射X射线光刻模拟软件--XLSS 1.0.该软件基于面向对象技术,采用束衍生法及快速傅里叶变换相结合的方法来研究X射线掩模中吸收体的光导波效应,对光刻胶表面空间光强分布及光刻胶剖面进行了精确模拟计算,发现模拟结果与实验结果吻合很好,且模拟结果的特征尺寸宽度与实验结果的特征尺寸宽度误差小于±10%.     

基于DHT的低复杂度UWB系统及性能仿真

实现复杂度和功耗是超宽带(UWB)系统设计中的关键问题.本文提出一种利用离散Hartley变换(DHT)进行调制/解调的超宽带系统,并推导了信道估计与均衡算法.与基于传统OFDM的方案相比,该系统降低了算法复杂度、硬件复杂度和功耗,且具有内在的频率分集特征.针对超宽带信道严重的频率选择性衰落,采用卷积编码与频域扩频和交织相结合的方式提高系统传输可靠性.根据典型超宽带信道模型进了系统参数设计,并通过计算机仿真验证了系统性能.