193 nm光刻散射条技术研究

介绍了193nm光刻中的散射条技术，并利用标量衍射和傅里叶光学理论，对掩模和光瞳平面上衍射图形的空间频率进行了深入的分析，从理论上解释了散射条的工作原理。通过商用光刻模拟软件PROLITH，对散射条的参数进行了优化，并总结出193nm光刻中孤立线散射条的优化方法。     

双音多频编解码板的设计与应用

本文介绍了一种双音多频编解码板的设计方案及软件编制,并给出了应用实例。     

MIMO系统中的空时编码技术

下一代移动通信系统必须具有更高的传输速率和更好的传输性能,多输入多输出(MIMO)天线技术能够极大提高系统的信道容量从而满足要求.为了提高频率利用率和传输可靠性需要研究MIMO系统中的空时编码技术,文章介绍了目前主要的空时编码技术:空时格状编码和空时分组编码技术,同时指出MIMO系统在天线相关性、接收端复杂性、与单天线系统整合等方面仍存在问题.     

红球菌对煤中硫的脱除及对煤溶胀和抽提性质的影响

中国能源工业是以煤为主、多能互补的能源生产体系。为适应国民经济的发展速度,中国能源工业仍将保持快速发展的势头。煤炭的生产和利用中缺乏对污染物的有效控制将引起大气污染、酸雨等区域性环境问题,以及气候变化等全球环境问题。中国煤炭资源中约15％的原煤硫的质量分数高于2％;高硫煤利用所导致的环境问题已经成为制约中国经济和社会发展的因素之一。因此,开发有效而经济的煤炭脱硫方法具有重要的现实意义。     

一种出租车辆调度与管理系统

介绍了一种出租车辆调度与管理系统的硬件设计原理和软件编制。     

二合一调谐器TCPM9092PD27A原理与应用

韩国三星电机株式会社制造的二合一调谐器ＣＰＭ（０９２ＰＤ２７Ａ可接收８７０ＭＨＺ全增补频道，并直接输出视频及音频信号，可用于图文电视接收、股票接收系统以及计算机的多媒体系统中。本文介绍了ＴＣＰＭ９０９２ＰＤ２７Ａ的功能特点、内部和原理及应用中的关键问题。     

氮化硅/钽硅X射线光刻掩模研制及应用

经过三十多年的研发, 接近式X射线光刻技术已经非常成熟,其具有分辨率高、焦深大、工艺宽容度大、产量高等诸多优点.对于X射线掩模吸收体材料, 如果选择金, 只能采用电镀工艺, 而且金会污染硅基集成电路；而钽硅材料可以采用干法刻蚀工艺, 不会污染硅基集成电路, 是一种理想的X射线掩模吸收体材料.本文论述了氮化硅/钽硅X射线掩模制作工艺, 不同于常规工艺, 电子束光刻显影后, 以ZEP520电子束光刻胶作为阻挡层,SF₆/CHF₃作为反应气体, 电感耦合等离子体直接刻蚀钽硅薄膜.初步的实验结果证明了这种X射线掩模制作工艺是可行的.     

光学波段量子点阵衍射光栅的衍射特性

 概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明：量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子点阵衍射光栅的成功研制为研制紫外、X光波段具有单级衍射特征的光栅提供了契机。     

入侵检测技术研究现状与未来发展

入侵检测技术是一种主动防御型安全技术,可以弥补传统安全技术的不足.文章对入侵检测技术进行了归类,介绍了两种通用的入侵检测方法:一种是根据采集点的不同,将IDS分为基于主机的IDS和基于网络的IDS;另外一种是根据检测所基于的原则不同,将入侵检测系统划分为异常检测IDS和误用检测IDS.文章还对入侵检测技术的未来发展方向进行了讨论.