用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

如何选择不同类型的锂原电池

在过去１０年内，不可充电的锂电池（原电池）已成为主电源和备用电源通常使用的碳锌电池、碱性电池和其他商用电池的优良替代物。锂电池．不管是锂氯化亚硫酸电池，还是锂二氧化硫电池或锂二氧化锰电池，都具有异常宽的工作特性。这些特性使得锂电池特别适合用作各种需要放电率低且能可靠地工作好几年的不同备用电源。锂电池还非常适用于以下一些场合：需要适中的或很高的连续供电或变化很大的中间脉冲供电场合；要求每个电池有很高工作电压的场合；以及从平坦的放电特性中得到好处的场合。如果您需要优异的能量密度，需要电池在很宽的工作…     

改进相干激光器阵列的热沉设计

一种有顶层(其横向尺寸与激光器阵列宽度相配)的热沉将明显改善激光器阵列的温度均匀性,便于器件锁相工作。     

B(0,N)-graded Lie superalgebras coordinatized by quantum tori Dedicated to Professor Sheng GONG on the occasion of his 75th birthday

We use a fermionic extension of the bosonic module to obtain a class of B(0, A)graded Lie superalgebras with nontrivial central extensions.     

双奇核188Au的准粒子带结构研究

利用在束γ谱学实验技术, 通过¹⁷³Yb(¹⁹F,4nγ)反应 布居了¹⁸⁸Au的高自旋态, 并对其准粒子带结构进行了研究. 基于实验测量结果, 对原有的双奇核¹⁸⁸Au能级纲图做了较大的修改. 通过系统性比较, 对15⁺以上的能级结构进行了讨论.     

如何降低蓝牙系统的成本

蓝牙工业界有一个雄心勃勃的计划，要将整个蓝牙接收器/发射器的价格控制在仅仅5美元，其中包括了基于DSP的子系统及相应的ROM和RAM。而这要等到蓝牙无线技术有了相当大的市场规模，并且通过大规模的投产来产生经济效益之后，才有可能成为现实。在这场角逐中，某些制造商可能会抢占先机。例如，到2001年6月，CSR公司已经生产了超过1百万块BlueCore单片蓝牙产品，目前市场上带蓝牙功能的所有终端用户产品中，48%都采用了这款芯片。本文介绍了CSR所采用的一些产品设计方法，以尽可能降低蓝牙产品的成本，同时还介绍了可能影响蓝牙产品…     

双面电弧焊接的传热模型

将等离子焊接(PAW)电弧和钨极氩弧焊(TIG)电弧串接,相对作用于工件的正反面形成双面电弧焊接(DSAW)系统,可以引导焊接电流沿工件厚度方向流过小孔,补偿等离子电弧穿透工件时消耗的能量,以有效地提高等离子弧的穿透能力.综合考虑影响双面电弧焊接正反面熔池几何形状的力学因素,建立了熔池表面变形的控制方程,以此为基础并采用帖体曲线坐标系建立了DSAW焊接传热的数学模型,分析了DSAW,PAW焊接传热的差异,从传热的角度解释了DSAW焊接熔深增加的原因.焊接工艺实验表明,计算结果与实测结果吻合良好. 关键词： 双面电弧焊接(DSAW) 传热模型 熔池表面变形模型     

EFFICIENT SIXTH ORDER P-STABLE METHODS WITH MINIMAL LOCAL TRUNCATION ERROR FOR y"=f(x,y)

1. IntroductionWe consider a class of direct hybrid methods proposed in [11 for solving the second orderinitial value problemy" = f(t,y), y(0),y'(0) given (1.1)The basic method has the formandHere t. = nh and we define t.l.. = t. I aih, i = 1, 2 and n=0,1…     

雷达天线罩上积雪引起的信号电平降低

本文作者已测量过由天线罩上的积雪所引起的接收信号电平和天线方向图的变化,观察到天线罩上雪不对称地堆积时出现的大的信号电平衰减现象。     

用于军事和工业系统的声表面波器件

自从制成了叉指换能器以来,声表面波器件获得了很大的进展.目前,这种器件已经广泛地用于完成复杂系统的信号处理功能方面.