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柔性变截面滑移式机器人手臂的动力学与控制 总被引：1，自引：0，他引：1
本文研究柔性变截面滑移式机械手的动力学与控制。首先利用Ｋａｎｅ方法分析柔性机械手的振动特性；然后基于有限元法导出一种控制机械手振动的模型，将控制过发为“粗控”和“精控”两步进行；最进行了数值模拟。 相似文献
993.
多孔硅的发光是源自其最表面层,该层是非晶态的。本研究揭示其结构是随机分布在此表面的纳米尺度的硅。多孔硅的微结构好象量子海绵,没有观察到“线”状结构,是一种无序材料。多孔硅的发光极象是由于这种纳米硅原子簇中的量子限制。 相似文献
994.
针对微硅型光机电系统集成化技术中电路和金属布线与硅微向向异性深腐蚀工艺之间的不相容问题、从寻求一种电路和金属布线保护层的思想出发，提出了用ＳｉＯ２／Ｃｒ复合膜电路和布线保护膜的新工艺方法。解决了微硅型光机电系统集成技术中长期存在的电路和布线中的关键技术。 相似文献
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