ASML公司光学光刻技术最新进展

荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一，通过不断的技术创新，在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上，详细分析了ASML公司在光学光刻技术方面的最新技术进展。     

太湖黑藻的化学成分研究

黑藻Hydrilla verticillata (L.f.)Royle是应用于太湖的生态修复的一种沉水植物，每年秋天必须将种植的沉水植物收获才能彻底降低湖水中的营养盐负荷。本文中首次从环境修复植物黑藻全草的提取物中分离得到5个化合物。1-(5´-羟基- 4´- 羟甲基-1´-甲基-1H-吡咯-2´-基)-二十一烷- 2,12,15-烯-1-酮(2) 和胸腺嘧啶脱氧核苷(3) 经EIMS, ¹HNMR, ¹³C NMR 和IR确定其化学结构，用X 射线衍射仪测定了地芰普内酯(1)和γ-硫 (4) 的晶体结构，并进一步用¹H NMR 和红外光谱确定了地芸普内酯的化学结构。同时还根据质谱、红外光谱和文献数据鉴定了十八二酸(5) 。其中，化合物 2 为一种新化合物，化合物1 和3 是生物活性物质。为将收获后的生态修复植物黑藻开发成医药材料等高附加值产品提供了基础研究资料。     

金属磁性多层膜的新颖特性──巨磁电阻效应

磁性和非磁性层交替重构成的金属磁性多层膜常具有巨磁电阻效应，其中每层膜约几个纳米厚。出现巨磁电阻效应的基本条件是：在外磁场下相邻磁层磁化强度取向发生对变化。巨磁电阻效应的物理起源是，其自旋与局域磁化强度平行和反平行的电子受到的散射不同，散射的不同既要嗵来自获射中收的特性，又可能源于两种自旋电子的能态密度的差异。由于信息存储技术中磁电阻“读出”磁头有巨大的应用前景，巨磁电阻效应引起了人们的极大兴趣。     

相对论磁控管的实验研究

简要分析了相３对论磁控管的主要特点与问题，编制了谐振系统数值计算程序，通过数值计算与冷测，对不同阴极尺寸与输出结构的磁控管进行了研究，清晰地描述了磁控管的振荡模式与简并现象。制作了Ａ６型相对论磁控管并进行了热测实验，研究了输出功率与工作磁场的关系，经过大量优化工作，在Ｓ波段获得了３８０ＭＷ的微波辐射。     

平板湍流边界层整体摩擦阻力的振荡性

本文分别用流场显示和阻力测量两种实验方法,证明了平板整体摩擦阻力存在着振荡性,并得到了其振荡的一些规律和特点。另外,提出了一个与时间相关联的内层速度分布模型。并对其合理性进行了研究,从而导出一个与时间相关联的整体摩擦阻力模型。     

基于模糊PID的光刻机同步扫描控制

基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。     

高阶广义微扰KdV方程的弱解(英文)

By using the theory of compensated compactness,we prove that there exists a sequence {uδε} converges nearly everywhere to the solution of the initial-value problem of generalized KdV equation with high order perturbation terms,namely we prove the existence of the weak solution.     

基于TDI 成像技术的镀锡带钢表面质量在线检测系统研发

针对高速、高分辨率带钢表面质量在线检测,研究开发了以TDI 成像技术为基础的视觉检测系统。系统采用高速TDI CCD 器件,配合照度自适应LED 光源成像,将采集得到的带钢图像经光纤送至图像分送器,各处理单元并行接收图像分送器的数据并进行实时处理,完成带钢表面质量检测。现场应用表明,基于TDI 成像技术的镀锡带钢表面质量在线检测系统可有效实现镀锡带钢表面缺陷检测。     

基于FP-tree的项约束关联规则挖掘算法研究

介绍了项约束关联规则的基本概念和技术现状,详细分析了FP-tree关联规则算法的关键技术。对FPC、CMFIMA、CCFP、DCMFI和CMFI五种基于FP-tree的项约束关联规则算法思想及技术进行分析和评价,通过比较,给出各算法的优点和不足,最后介绍了基于FP-tree项约束关联规则的应用,并展望了FP-tree项约束关联规则挖掘未来的研究方向,为基于FP-tree的项约束关联规则技术的研究与发展提供参考。