硅直接键合工艺对晶片平整度的要求

本文用弹性力学近似，给出了键合工艺对硅片表面平整度的定量要求以及沾污粒子与孔洞大小洞的关系，并用Ｘ射线双晶衍射技术和红外透射图象对键合硅片进行了实验研究。     

Lattice pLSI器件与AlteraEPM5000系列器件之比较

本文扼要地阐述Lattice的pLSI/ispLSI1000系列高密度可编程逻辑器件与Altera EPM 5000系列多阵列矩阵(MAX)器件在结构方面的差异,并指出使用pLSI/ispLSI器件在下列关键结构方面要优越于EPM5000系列器件:     

结构振动控制中压电阻尼技术研究—压电被动阻尼技术（一）

压电阻尼技术有两种类型：压电被动阻尼技术和压电主动阻尼技术。本文对其中的压电被动阻尼技术进行了研究，结果表明：通过给压电元件并联适当的外部电路，可使压电系统具有与粘弹阻尼材料及动力吸振器相似的物理特性。合理配置电路参数，可以实现最优阻尼比。     

谱约束下对称正交对称矩阵束的最佳逼近

讨论了对称正交对称矩阵的广义逆特征值问题，得到了通解表达式和最佳解的表达式。     

静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟

提出了一种新型的微电子机械数模转换器 (MEMDAC)———静电驱动悬臂梁数模转换器 .与传统的静电驱动悬臂梁执行器相比 ,新的结构能更精确地控制梁的挠度 .文中给出了此MEMDAC的设计、分析和模拟过程 .有限元(FEA)分析表明此MEMDAC的最大输出位移为 1 5 1μm ,分辨率为 0 1μm ,其最大非线性误差为 0 0 3μm .     

昆虫专用扫描电镜样品台的制作与应用

在应用扫描电子显微镜进行昆虫分类的工作中，有时需要对昆虫的某些特征部位进行特定角度的观察研究。而扫描电镜的常规制样方法不仅破坏昆虫样品，而且难以准确地控制要观察的部位。在实际工作中对于一些难于得到的珍稀昆虫样品来说，是非常遗憾而又必须加以改进的。     

光敏性溶胶-凝胶波导材料

采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并应用四丙氧基锆作为调节折射率的材料.为了增加薄膜与硅片的粘附作用,先用干氧热氧化法在硅片上生长一层厚度约为150nm的SiO2,然后使用提拉法在硅片上提拉成膜,薄膜厚度达到3.6μm.研究发现紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.样品的原子力显微镜照片表明薄膜的表面非常平整,在5μm×5μm的范围内表面起伏只有0.657nm.利用波导阵列掩膜版,对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.     

A市电子政务信息共享分析

最近,笔者对A市有代表性的委、办、局进行了问卷调研,并重点现场走访了市、区、县信息办、信息中心、计委、规划局、经委等十五个相关部门,基本掌握了A市政府部门信息共享的总体情况和存在的问题.