Si/SiO2多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究

线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利用校准后的SEM,对利用Si/SiO₂多层膜沉积技术制备的线宽名义值为500、200、100 nm样片进行关键参数的测量,采用幅值量化参数的均方根粗糙度RMS描述线边缘粗糙度与线宽粗糙度,并通过图像处理技术确定线边缘位置,对线宽边缘特性进行了精确表征。实验结果表明,名义值为500、200、100 nm对的线宽样片,其实测值分别为459.5、191.0、99.5 nm,σLER分别为2.70、2.35、2.30 nm,σLWR分别为3.90、3.30、2.80 nm,说明了多层膜线宽标准样片线边缘较为平整、线宽变化小、具有良好的均匀性与一致性。基于自溯源标准物质校准SEM的方法缩短了溯源链,提高了SEM的测量精度,实现了线宽及其边缘特性的精确表征,为高精度纳米尺度测量和微电子制造领域提供了计量支持。     

海信C2101CDMA手机十月份隆重上市

８月２９日,海信集团公司在北京召开了海信ＣＤＭＡ彩屏移动电话新闻发布会,推出了Ｃ２１０１ ＣＤＭＡ ２５６色超大屏幕彩色液晶显示屏手机,并表示此款手机将在十月份隆重上市。 据介绍,海信Ｃ２１０１ ＣＤＭＡ ２５６色超大屏幕彩色液晶显示屏手机（以下简称Ｃ２１０１）是一款机身尺寸为４６ × １３０×１９（ＭＭ）外型极具个性化的手机,它外观分为银色和橙色,采用高科技的ＵＶ喷涂技术进行喷涂。金属质感的外观工艺,使手机表面不易磨损。该款手机除了支持彩色显示以外,汉字显示区可显示多达８字×７行,使短消息等阅读更加…     

为帕累纳天文台设计的红外望远镜

英国的可见和红外勘测望远镜计划宣告,它希望为欧洲南方天文台设在智利帕累纳天文台的甚大望远镜安装宽角望远镜。这台4 m的勘测望远镜对可见光和近红外区光谱敏感,可提供宽阔的深空区域的通用扫描。 望远镜建造计划从2000年春季开始,到2004年完成。英国18个大学联合参加这个项目。     

用光谱主成分分析选择烟草近红外模型校正集样品

为研究光谱主成分分析方法在选择烟草近红外模型校正集样品过程中的可行性,本文采用常规的人为挑选和光谱主成分分析两种方法选择校正集样品,并利用偏最小二乘法建立烟叶总糖、总氮和烟碱含量的预测模型,同时比较了这两种校正集样品选择方法所建立模型的各项评价指标和预测结果的差异性。结果表明,上述两种方法建立的总糖、总氮和烟碱含量预测模型的各项评价指标非常接近,对20个烟叶样品的预测结果也无明显差异。因此,应用光谱主成分分析是烟草近红外模型构建过程中的一种非常有效,且节约常规化学分析成本的校正集样品选择方法。     

现代电磁场理论、量子理论与超光速问题研讨会纪要

20 0 0年 5月 19日至 2 1日 ,“现代电磁场理论、量子理论与超光速问题研讨会”在北京召开。会议由中国电子学会、中国科学院电子学研究所主办 ,全国各地共有 32位专家、学者参加会议。会议由中国电子学会副理事长沙踪教授主持 ,中科院电子所常务副所长阴和俊研究员讲话 ,中国科学院院士吕保维为大会报告文集撰写了“前言”,中国电子学会名誉理事长孙俊人院士通过电话对会议表示关注。本次会议是 1996年“电磁波波束与超光速问题“座谈会的继续。国家自然科学基金委员会电子学科张兆田主任也参加了研讨会。会议组织了三个大会发言 ,即 :中科…     

第四届全国周培源大学生力学竞赛理论力学试题

题一（１０分） 立方体的边长为ａ,作用有力系如图．其中三个力的大小均为Ｆ,两个为偶的力偶矩大小均为Ｍ＝Ｆａ,方向如图．若欲使该立方体平衡,只需在某处加一个力即可,则在坐标系中, （１）所加的力为 （２）在图中画出该力的示意图．题二（１０分） Ａ、Ｂ两物块质量均为,静止如图叠放,设各接触处的摩擦系数均为． （３）若用手慢慢地去拉Ｂ块,其运动现象为 （４）若用手突然快速拉Ｂ块,其运动现象为 （５）在上述两种情况下,Ａ所能获得的最大水平加速度为题三（１０分） 设均质圆盘齿轮Ａ与一大齿轮内接,齿轮Ａ的质量为ｍ,…     

直接序列扩频信号谱特性与变换域抗窄带干扰技术仿真研究

对直接序列扩频信号（ＤＳＳＳ）的谱特性和扩频通信的变换域抗干扰技术进行了仿真研究和理论分析。结果表明,ＤＳＳＳ信号是相位敏感信号,大量信息包含在相位谱中,基于功率谱差别的干扰识别与处理的变换域抗干扰技术的效果存在上限。为提高效果,变换域抗干扰技术必须对干扰带内扩谱信号作相位谱估计。     

基于双目序列图像的测距定位与自车速度估计

为了确定车辆在行驶过程中的相对位置与速度,提出一种基于双目序列图像的实时测距定位及自车速度估计方法。该方法利用车载双目视觉传感器采集周围环境的序列图像,并对同一时刻的左右图像进行基于SURF(speeded up robust features)特征的立体匹配,以获取环境特征点的景深,实现车辆测距定位;同时又对相邻两帧图像进行基于SURF特征的跟踪匹配,并通过对应匹配点在相邻两帧摄像机坐标系下的三维坐标,计算出摄像机坐标系在车辆运动前后的变换参数,根据变换参数估算出车辆的行驶速度。模拟实验表明,该方法具有良好的可行性,速度计算结果比较稳定,平均误差均在6%以内。     

晋江电信倾力中小企业信息化

在我国,中小企业在市场中占有相当大的比重,其信息化程度反映了中国企业信息化的现状。中小企业信息化对于提升企业竞争力、促进国民经济发展具有非常重要的意义。面对这一现状,中国电信晋江市分公司在推动中小企业信息化的领域做出了很大努力,收到了良好效果。     

基于影响函数的k-近邻分类

分类是一种监督学习方法,通过在训练数据集学习模型判定未知样本的类标号。与传统的分类思想不同,该文从影响函数的角度理解分类,即从训练样本集对未知样本的影响来判定未知样本的类标号。首先介绍基于影响函数分类的思想;其次给出影响函数的定义,设计3种影响函数;最后基于这3种影响函数,提出基于影响函数的k-近邻(kNN)分类方法。并将该方法应用到非平衡数据集分类中。在18个UCI数据集上的实验结果表明,基于影响函数的k-近邻分类方法的分类性能好于传统的k-近邻分类方法,且对非平衡数据集分类有效。