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Characteristics and properties of metal aluminum thin film prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology
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Metal aluminum (Al) thin films are prepared by 2450-MHz electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition on glass and p-Si substrates using trimethylaluminum as the precursor and hydrogen as the reductive gas. We focus our attention on the plasma source for thin-film preparation and annealing of as-deposited films related to the surface square resistivity. The square resistivity of as-deposited Al film is greatly reduced after annealing and almost reaches the value of bulk metal. Through chemical and structure analysis we conclude that the square resistivity is determined by neither contaminant concentration nor surface morphology, but by both crystallinity and crystal size in this process. 相似文献
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针对频谱有效的多进制低密度奇偶校验(Low-Density Parity-Check,LDPC)码编码调制系统,本文提出了一种在带宽有效传输下的两级不等保护方案,两级不等错误保护分别来自码字特性和高阶调制,充分利用了码字变量节点的度和高阶调制中比特的不等可靠性。编码调制系统采用多进制LDPC码与高阶调制匹配结合,无需信息转换,针对不同误符号率和误比特率的需求,可在符号级和比特级提供不同可靠性达到不等错误保护的目的。仿真结果表明,在AWGN信道下,采用16QAM调制方式的性能优于16PSK调制方式,利用变量节点的度和高阶调制提供的信息,码字的误符号率和误比特率具有明显的不等错误保护区分度,对于重要的比特给予了较强的保护。 相似文献
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随着国内移动互联网的规模发展,大型集会场所应急保障业务需求趋势由传统的语音业务保障向数据业务保障转变。基于两者用户感知指标以及对无线承载网络的需求的差异,在制定应急保障方案时需要关注其不同业务特点。文章通过对重庆首届云博会无线数据业务重点保障方案的介绍,总结出了无线数据业务保障需关注的重点。 相似文献
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广州汇信音频技术有限公司(以下简称汇信)是一家集高级音频设备代理、销售、专业设计、技术支援、维修为一体的综合型音频技术公司。汇信公司在国家会议中心举办的 相似文献
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"声扬从2009年年初成立到现在三年多的时间,已经由最初成立时的六个人发展到现在一百多人.公司的主打产品是线阵列系统,主要面向私人流动演出市场."曾总回忆起了在设计第一款线阵列时的情景:"我从2000年开始研究线阵列,2004年开始设计产品. 相似文献
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与传统的时分/频分复用训练序列相比,采用叠加训练序列的传输方案可以有效地提高系统的频谱利用率。然而,叠加方案中训练序列与信息序列的相互干扰会造成系统性能的严重下降,如何有效消除信息干扰是提高信道估计性能的关键。该文针对时变衰落信道,首先提出一种新的基于一阶统计量信道估计算法。该算法利用基扩展模型(BEM)构建时变信道,通过时域分块平均的方法来抑制信息序列干扰。在此基础上,利用信息序列和训练序列经历相同信道衰落的特性,提出一种基于加权最小二乘(WLS)的迭代信道估计与检测方案。新方案利用 Kalman滤波检测器代替确定性最大似然(DML)检测器,将检测符号序列看作附加的“训练序列”用于信道估计,从而可以显著提高信道估计性能。仿真结果表明,新方案可以有效消除信息序列干扰,且性能和计算复杂度均优于现有的同类方案。 相似文献
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