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日本ウシオ电机株式会社批量生产标准样机 开发了一种重复率kHz输出 W的ArF准分子激光器。其稳定性±.%线宽. pm脉宽ns 性能达到世界最高水平。 ArF激光波长为 nm 可用作生产线幅.~. μm半导体的光刻用光源。 该公司还利用相同的ArF激光器 在世界上首次实现重复率 kHz输出W的基本性能。 《激光与光电子学进展》2001,(4):64
日本ウシオ电机株式会社批量生产标准样机,开发了一种重复率2 kHz、输出10 W的ArF准分子激光器。其稳定性±0.25%、线宽0.4 pm、脉宽50 ns,性能达到世界最高水平。
ArF激光波长为193 nm,可用作生产线幅0.10~0.13 μm半导体的光刻用光源。
该公司还利用相同的ArF激光器,在世界上首次实现重复率4 kHz、输出20 W的基本性能。
(以上由江涛供稿) 相似文献
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随着网络技术和多媒体技术的快速发展,各种视频服务日益普及,同时对安全的要求也越来越迫切。为此,针对目前最新的视频压缩标准H.264的特点,文中选择采用混沌流密码有选择地对视频编码中起关键作用的数据进行加密,从而实现了帧内预测模式IPM、运动向量差值MVD和DCT系数的联合加密。理论分析和实验结果表明该算法能很好地降低计算复杂度,提高加密效率,取得了很好的加密效果。 相似文献
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SAR图像舰船目标检测算法的对比研究 总被引:8,自引:0,他引:8
SAR图像舰船目标检测有二种经典算法:双参数CFAR算法和K-分布CFAR算法。本文分析了二种算法的特点,使用RADARSAT卫星不同模式SAR图像分别进行实验,给出二种算法的适应性。 相似文献
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随着信号传输速率的不断提高,THRU-校准板必须能够在高频线路中保证良好的传输特性。然而,连接器与校准板的过渡结构中总是存在不连续性,这种不连续性严重制约THRU-校准板的测试带宽。针对该问题,对边缘贴装连接器过渡结构进行研究,分析过渡结构中返回电流路径不连续的原因,提出过渡结构底层添加焊料改善过渡结构不连续性的方法。在此基础上,为了进一步改善过渡结构中返回路径的不连续性,提出减小通孔壁间距来提升测试带宽的方法。最后对两种方法进行仿真分析和实验验证,结果显示,经过两种方法处理之后,极大地提升了THRU-校准板的传输性能,使其测试带宽提升至40GHz。 相似文献